リキッドモードでシステムを動作させるためのアクアスキャンヘッドをオプションで提供しています。この機能は、写真のように弊社のILMモジュールと組み合わせることが可能です。
ILMシステムは、ezAFMスキャナーヘッド、XYフレクスターステージ、ezAFM-ILMアダプターステージの3つのパーツで構成されています。XYフレクスターステージは、カンチレバーの位置を2mmの範囲で移動させます。
同軸照明はシステムのトップライトであり、ezAFM内部に組み込まれたezAFMカメラ以外は、ILMからカンチレバーや試料を観察することが可能です。厚みのあるサンプルには、粗動ステージを調整します。
ILMシステムは、ezAFMスキャナーヘッド、XYフレクスターステージ、ezAFM-ILMアダプターステージの3つのパーツで構成されています。XYフレクスターステージは、カンチレバーの位置を2mmの範囲で移動させます。
同軸照明はシステムのトップライトであり、ezAFM内部に組み込まれたezAFMカメラ以外は、ILMからカンチレバーや試料を観察することが可能です。厚みのあるサンプルには、粗動ステージを調整します。