ARコーティング (反射防止コーティング) RMI


Rocky Mountain Instrument Co.
高度なレーザーコーティング

RMIは、最先端の18の光学コーティング チャンバーを使用し、業界で最も広範囲な DUV(EUV)から遠赤外までのコーティングを行います。

IR / Far IR Visble / Near IR Deep UV / UV
IR Imaging IR Laser 1064 nm (YAG) 193 nm (Excimer) 
1–3 μm (SWIR) 2.1 μm (Ho:YAG) 532 nm (YAG) 248 nm (Excimer) 
3–5 μm (MWIR) 2.94 μm (Er:YAG) 400–700 nm (Broadband) 266 nm (YAG)
8–12 μm (LWIR) 10.6 μm (CO2) 1 μm (Fiber) 355 nm (YAG)

コーティング テクノロジー

コーティング タイプ
• 誘電体
• メタリック
• 金属 / 誘電体 ハイブリッド
• インジウム-錫酸化物  (ITO)
• ダイヤモンド-ライク カーボン (DLC)

コーティング方法
• 電子ビーム蒸着
• 熱蒸着
• イオン-アシスト 蒸着 (IAD)
• イオン-ビーム スパッタリング (IBS)
• マグネトロン スパッタリング

ARコーティング   (反射防止コーティング)

単相ARコーティング

400nm – λ – 2.0μm

単層フッ化マグネシウム(MgF2)は、最も一般的な反射防止コーティングです。
特定の中心波長と垂直入射で、BK7の表面反射率を約4%から1.3%未満に低下させる硬質で耐久性のあるコーティングです。

サファイアのような高屈折率材料の反射損失は0.5%未満である。このコーティングは、市販の光学製品およびそれほど要求の厳しい用途には広く使用されています。

RMI 標準仕様
入射角: 0º または 45º
反射率:  偏光なし
 BK7: R ≤ 1.3% at 0º R ≤ 2.0% at 45º
サファイヤ: R ≤ 0.5% at 0º R ≤ 1.0% at 45º

UV 狭帯域 ARコーティング

193nm ≦ λ ≦ 400nm

狭帯域ARコーティングは、「V」コーティングと呼ばれます。指定された中心波長での表面反射に低減します。誘電体コーティングの反射率は、偏光、波長及び入射角に依存します。

RMI 標準仕様
入射角: 0º or 45º
反射率:  Unpolarized
λ > 222 nm: R ≤ 0.25% at 0º R ≤ 0.5% at 45º
λ ≤ 222 nm: R ≤ 1.0% at 0º R ≤ 1.5% at 45º
ダメージしきい値:
λ > 248 nm:
1.5 J/cm², 10ns パルス
  λ > 355 nm: 3.5 J/cm², 10 ns パルス (UVFS)

VIS /NIR 狭帯域 AR コーティング

400nm ≦ λ ≦ 2.0μm

狭帯域ARコーティングは、「V」コーティングと呼ばれ、中心波長および垂直入射で0.25%未満の表面反射率に低減します。

「V」コーティングは、単層ARコーティングよりもレーザ用途に適しています。高出力波長のコーティングは、標準狭帯域反射防止コーティングよりも高い出力に耐えることができる特別な材料を使用します。

これらの全ての誘電体コーティングは、偏光、波長及び入射角に依存します。

RMI  標準仕様
入射角: 0º or 45º
反射率:  無偏光: R ≤ 0.25% at 0º
R ≤ 0.5% at 45º
ダメージしきい値:
532 nm
5 J/cm2, 10 ns パルス
1064 nm 10 J/cm2, 10 ns パルス (BK7 or UVFS)

IR 狭帯域ARコーティング

μm ≦ λ ≦ 20.0μm

中心波長および垂直入射で0.5%未満の表面反射率に低減します。
これらの全ての誘電体コーティングは、偏光、波長及び入射角に依存します。

RMI標準仕様
入射角: 0°または45°
反射率:   無偏光 R ≤ 0.5% at 0º
R ≤ 1.0% at 45º
ダメージしきい値:
λ>10.6μm:
2 J / cm2,10nsパルス

 

VIS / NIR 広帯域 ARコーティング

波長範囲
425nm – 675nm
700nm – 1100nm
850nm – 1350nm
1050nm – 1550nm

Vコートよりも入射角に依存しません。

RMI 標準仕様
入射角: 0º or 45º
反射率: Ravg ≤ 0.5% at 0º Ravg ≤ 1.0% at 45º

IR 広帯域 ARコーティング

波長範囲
3.0μm – 5.0μm
5.0μm – 8.0μm
8.0μm – 12.0μm

Vコートよりも波長依存性がありません。

RMI 標準仕様
入射角: 0º or 45º
反射率:  Ravg ≤ 1.0% at 0º Ravg ≤ 1.5% at 45º
ダメージしきい値: 2 J/cm2 at 10 ns pulse

多波長AR コーティング

Nd:YAG の高調波(最大3波長まで)のARコーティング可能

偏光、波長及び入射角に依存します。

RMI 標準仕様
Angle of Incidence:
Reflectance:  R ≤ 0.5%
Damage Threshold: 5 J/cm2, 10 ns pulse
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