DIN規格（ドイツ工業規格）に準拠した接触角およびSFE（表面自由エネルギー）測定の全機能を備えた低価格の接触角計
SURFTENS Basicには、正確な接触角測定を行うためのすべてのモジュールが含まれています。
電動ディスペンサー、マルチディスペンサー、傾斜ステージなどの多くのオプションを備えた、接触角、SFE、表面張力の信頼できる測定器
特殊な表面処理によって技術的な表面の濡れ性を改善することは、産業や研究においてますます一般的になってきています。したがって、プロセスの特性評価、技術パラメータの調整、生産管理のためには、改質プロセスの前後で表面自由エネルギーを客観的かつ正確に測定することが必要不可欠です。
接触角計、最大200mmウェハー用の特別ソリューション
接触角計SURFTENS HLは、半導体産業や研究、特にウェハーコーティングやフォトリソプロセスのプロセス制御用に設計されています。
シリコンウェハーの濡れ挙動を調節することは、プロセスの特性評価、技術パラメータの調整、生産管理のため、半導体技術における標準的なプロセスステップです。したがって、調節工程の前後で接触角や表面自由エネルギーを客観的かつ正確に測定することが必要不可欠です。
この目的のためには、堅牢で使いやすい接触角測定装置が必要です。SURFTENS HLは、半導体技術や研究におけるニーズを満たすために開発されました。操作は簡単で、短期間のトレーニングで誰でも使用できます。手動操作のため、魅力的な価格を実現しました。
SURFTENS HLは、標準的なプロセス制御だけでなく、研究開発にも使用されています。
ソフトウェア “SURFTENS ”と連携して、固体の接触角と表面自由エネルギーを測定することができます。優れたドキュメント化機能は、品質保証や研究に協力に役立ちます。
基本的に、測定ソフトウェアSURFTENSは、液滴形状の様々なフィッティング方法による固着液滴の接触角の完全自動測定を可能にします。液滴は画像処理により自動的に検出されます。コントラストが重要な場合には、ベースラインの手動設定やモニター上の測定ポイント設定による接触角の完全手動測定など、液滴検出のための追加オプションが提供されます。
以下のような測定機能や設定機能が追加機能として設けられています。
ソフトウェアには、最大5つの測定液体の接触角測定値から固体の表面自由エネルギーを計算するための評価モジュール（OWRK / Wuによる理論）が含まれています。 ライブビデオストリームからAVIファイルの取得が可能。すべての測定機能と文書化機能は、フィルム全体またはフィルムの単一画像に適用できます。 測定結果は、プロトコルまたはビデオ画像と共に保存できます。
測定精度は、ライブビデオ画像を使用して決定されます。実際の液滴は、蒸発のような環境の影響により常に変化するため、技術パラメータは接触角標準の測定に関係しています。
ご要望により、2倍または3倍投与システム、自動、電動、ソフトウェア制御の投与ユニットなど、多数のハードウェアオプションをご利用頂けます。また、サーマルチャンバー、傾斜ステージ、ペンダントドロップ測定用ソフトウェア、全自動測定装置などのオプションもご用意しております。
このオプションについてはSURFTENS universal、SURFTENS automatic、SURFTENS WH 300をご参照ください。
試料台：直径200mmまたは300mm x/φ位置決め
試験片厚さ：0〜5mm
接触角測定範囲：1°～180°
接触角測定の分解能/精度：接触角標準器を使用したライブ画像上で±0.05°/ ±0.5
光学系（標準装備）：倍率1倍、電動フォーカス可能
カメラ（標準装備）：モノクロUSB 2.0カメラ、440,000ピクセル
測定光学系の傾斜角度：約1°に固定
投与システム（標準）：手動単発投与ユニット
投与システム（代替）：手動二重投与ユニットまたは全自動投与システム
滴下量の再現性：0.1μl
光源：長寿命ライトパッド
ソフトウェア：SURFTENS for Windows
上記の機能は標準装備であり、お客様のご要望に応じて変更が可能です。 技術パラメータは予告なしに変更されることがあります。バインディングは見積書通りの技術仕様です。
12インチまでのシリコンウェハー用全自動接触角計
接触角測定システムSURFTENS HL automaticは、半導体産業および研究、特にウェハーコーティングのプロセス制御およびフォトリソグラフィープロセスでの使用を目的として設計されています。
電動ポンプ、自動滴下、電動試料テーブル (200 x 200) mm を備えた接触角および表面自由エネルギーの自動測定装置
接触角測定システムSURFTENS automaticは、半導体産業および研究、特にウェハーコーティングのプロセス制御およびフォトリソグラフィープロセスでの使用を目的として設計されています。 ガラス基板やホイルなどの平板形状のあらゆる試料に適しています。 測定範囲は200×200mmです。
半導体技術で使用される基板や層の表面自由エネルギーや濡れ挙動は、接触角測定によって求めることができます。接触角を測定することで、新しいプロセスステップを迅速に最適化し、既知のプロセスをより良く標準化することができます。ウェハーの表面特性の小さな変化は、接触角の大きな変化として容易に検出されます。したがって、接触角測定は、多くの半導体製造工場における標準的なプロセス制御の方法として位置づけられています。
クリーンルーム条件下での固体（フラットパネルディスプレイ用のウェハーやガラス基板など）の濡れ挙動を全自動で測定する接触角測定装置です。連続テストや系統的分析にも使用できます。SURFTENS automaticは、研究、品質、製造検査における接触角測定にかかる主観的要因や時間の削減を可能にします。
SURFTENS WH 300は、半導体技術における200mmおよび300mm のウェハー処理におけるプロフェッショナル向けの主要な装置。 SURFTENS WH 300には、3軸ウェハーロボット、ウェハースキャナー、200または300mmウェハー用ロードポート、ファンフィルターユニット、ノッチングシステムが装備されています。 あらゆるクリーンルームクラスに適しており、最大25枚のウェハーの接触角を自動マッピングする機能を備えています。
新機能：SECS/GEMインターフェイス搭載
SURFTENS WH 300 は、3軸ウェハー搬送ロボット、300mmウェハー用ロードポートを搭載した全自動接触角測定装置で、300mmウェハー技術で要求されるあらゆる機能を備えています。 2020年以降、SECS / GEMインターフェイスが実装されました。
SECS / GEMインターフェースは、セミスタンダードE30、E84 / 87、E90、E40、E94をサポートし、制御ジョブ、プロセスジョブ、基板トラッキング、キャリア管理、OHT接続を可能にします。
【１】ウェハーハンドリングシステム
【２】SURFTENS 接触角測定モジュール
接触角測定装置SURFTENS WH 300は、クリーンルーム条件下での固体（フラットパネルディスプレイ用のウェハーやガラス基板など）の濡れ挙動の完全自動測定、および連続試験や体系的な分析を目的としています。SURFTENは自動化により、研究、品質検査、製造検査における接触角測定において、主観的要因や測定時間の削減を可能にします。
SURFTENS WH 300は、ソフトウェア制御による以下の測定と分析を特徴としています。
Contact Angle Standardは、異なる接触角を持つ液滴を表す画像を備えたガラスプレートです。
Contact Angle Standardは高精度のリソグラフィープロセスで製造されているため、画像自体は指定されたCADデータに従って非常に正確です。ガラス板プレートは実際の液滴の代わりに測定台の上に置きます。
接触角測定の再現性の証明は、対象物（液滴）の繰り返し測定によって行われます。正しいテストを行うためには、ライブビデオ（フリーズした画像ではない）を使用して測定を行う必要があります。実際の液滴には、永久的に蒸発するという問題があります。永久蒸発の結果、接触角は永久的に変化します。そのため、実際の液体を用いた接触角測定の再現性を証明することは不可能です。
Contact Angle Standardは形状（接触角）を変化させないため、測定システムの再現性を証明する目的として使用できます。
さらに、画像は非常に正確に生成され、様々な接触角を表現します。そのため、接触角測定システムの絶対的な測定精度を証明するために、Contact Angle Standardを最適に使用することができます。
SURFTENS ソフトウェアは、固体上の液体の接触角を測定するためのWindows画像処理ソフトウェアです。最大5つのテスト液体の接触角から表面自由エネルギー(SFE)を計算するモジュールを含んでいます。SURFTENS ソフトウェアは OEG社の装置に接続して使用する以外に、お客様の現場で既存の測定セットアップに接続して使用することもできます。
特殊な表面処理によって工業材料における濡れ性を改善することは、産業や研究においてますます一般的になってきています。したがって、プロセスの特性評価、技術パラメータの調整、生産管理のためには、改質プロセスの前後で表面自由エネルギーを客観的かつ正確に測定することが必要不可欠です。この目的のためには、堅牢で使いやすい接触角測定器が必要です。SURFTENS universalは、産業界や研究機関のニーズを満たすために開発されました。操作は簡単で、短いトレーニングで誰でも使用できます。 手動操作のため、魅力的な価格を実現しました。
SURFTENS universal は、標準的なプロセス制御だけでなく、研究開発にも使用されています。 ソフトウェア “SURFTENS ”と連携して、固体の接触角と表面自由エネルギーを測定することができます。優れたドキュメント化機能は、品質保証や研究に協力に役立ちます。
基本的に、測定ソフトウェア “SURFTENS ”を使用すると液滴形状の様々なフィッティング方法による、固着液滴の接触角の完全自動測定が可能になります。液滴は画像処理によって自動的に検出されます。 自動検出には、液滴画像のコントラストが重要な場合があります。 このような場合、ソフトウエアは、ベースラインの手動設定や、モニター上の測定点設定による接触角の完全手動測定など、液滴検出のための追加オプションを提供します。
このソフトウェアには、2種類の既知の測定液体の接触角測定値から固体の表面自由エネルギーを計算する評価モジュール（Wuによる理論）が含まれています。特別なソフトウェア機能により、滴下量は手動分注システムでも0.1μl単位で再現可能です。追加オプションとして、滴下量をソフトウェアで測定することもできます。
ライブビデオストリームからAVIファイルを取得することができます。すべての測定および記録機能は、フィルム全体またはフィルムの単一画像に適用できます。
測定結果は、プロトコルまたはビデオ画像として保存できます。
測定精度は、ライブビデオ画像を使用して決定されます。実際の液滴は、蒸発などの環境の影響により、永久的に変化します。そのため、接触角標準を使用することで、精度を指定することができます。
オプションの拡張機能として、ソフトウェアSURFTENS PDがあります。 ペンダントドロップ法で液体の表面張力を測定します。
この測定にはSURFTENS universalの標準構成で対応可能です。追加ソフトウェアモジュールのみが必要で、標準ソフトウェアにバンドルして提供されます。
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SURFTENS PD は、ペンダントドロップ法により液体の表面張力を測定するための画像処理ソフトウェアです。液滴の形状解析により、ペンダントドロップの形状パラメータを用いて表面張力が計算されます。SURFTENS PDはOEG社の装置と接続して使用されますが、スタンドアロンのソリューションとしてお客様のアプリケーションに対応することも可能です。
表面張力の知識は多くの産業にとって不可欠です。これにより、濡れや接着の挙動を予測することができます。例えば、塗料、ラッカー、インク産業、半導体・ディスプレイ産業、洗剤産業、水道・配水産業、化粧品・製薬・歯科産業、生物工学、あるいは繊維製品、プラスチック、接着剤、フィルム、光学機器などを製造している企業がその恩恵を受けています。表面張力の一貫した測定は、製品の具体的な開発や要求される物理的・化学的特性の最適化を容易にします。
ペンダントドロップ法による表面張力の測定には、32ビットソフトウェアSURFTENS 4.2 PDを使用します。COMEFソフトウェアの流れを汲むこのプログラムは、液滴の表現と表面張力の測定に快適な機能を備えています。液滴の生成はSURFTENSシリーズの装置によってじっこうされます。表面張力の測定には、液滴の形状分析が行われます。測定されたパラメータはビデオ画像に表示されます。反復手順により、理論的な液滴プロファイルが実験的な液滴プロファイルに適合されます。システムの校正は、最高の精度を保証する様々なサブピクセルアルゴリズムを用いて実行されます。キャリブレーションは、倍率や針の位置が変わるたびに必要です。
ペンダントドロップ法による液体の表面張力測定のためのWindows画像処理ソフトウェア
イメージソース
測定機能：ペンダントドロップ法による液体の表面張力測定
OS：Windows 2000/XP/7
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