スキャンヘッド Hans Scanner

2軸スキャンヘッド

< ウルトラスキャン>
低ノイズ、高直線性、低ドリフト。
UltraScan Head
< エクストラスキャン>
23ビット解像度により、優れた位置決め精度と繰り返し位置精度を実現します。
ExtraScan Head
<ユニスキャン>
DAボードとドライブボードを一体化。
Enough Head



UltraScanⅠ

UltraScanⅠ UltraScanⅠ 14 UltraScan Ⅰ 20 UltraScanⅠ 30 UltraScanⅠ 50
入力ビーム径(mm) 14 20 30 50
ビーム変位(mm) 16.42 25.25 35.61 62.25
トラッキングエラー(ms) 0.23 0.45 0.70 1
繰り返し性(μrad) <2 <2 <2 <2
オフセットドリフト(μrad/K) <15 <15 <15 <15
ゲインドリフト(ppm/K) <80 <80 <80 <80
長期ドリフト
(mrad, 8時間以上)
<0.3 <0.3 <0.3 <0.3
1%フルスケール(ms) 0.65 0.80 1.20 1.50
10%フルスケール(ms) 1.60 2.50 4.50 6.50
ポジショニングスピード(m/s) 10 5 3 1
標準スキャン角度(°) ±25 ±25 ±25 ±25
ゲインエラー(mrad) <5 <5 <5 <5
ゼロオフセット(mrad) <5 <5 <5 <5
非線形性(%) <0.4 <0.4 <0.4 <0.4
電源 ±15VDC, ≧3A ±15VDC, ≧3A ±15VDC, ≧3A ±15VDC, ≧3A
コミュニケーションプロトコル 16bit: XY2-100
20bit: ST2-100
16bit: XY2-100
20bit: ST2-100
16bit: XY2-100
20bit: ST2-100
16bit: XY2-100
20bit: ST2-100
操作温度(℃) 25±10 25±10 25±10 25±10
重さ(kg) 2.3 5 5.2 8.8



UltraScanⅡ

UltraScanⅡ UltraScanⅡ 7 UltraScanⅡ 10 UltraScanⅡ 14 UltraScanⅡ 20 UltraScanⅡ 30
入力ビーム径(mm) 7 10 14 20 30
ビーム変位(mm) 9.77 12.54 16.42 25.25 35.53
トラッキングエラー(ms) 0.15 0.12 0.15 0.35 0.6
繰り返し性(μrad) <2 <2 <2 <2 <2
オフセットドリフト(μrad/K) <20 <12 <12 <12 <12
ゲインドリフト(ppm/K) <100 <50 <50 <50 <50
長期ドリフト
(mrad, 8時間以上)
<0.4 <0.15 <0.15 <0.15 <0.15
1%フルスケール(ms) 0.22 0.30 0.35 0.70 1.10
10%フルスケール(ms) 0.80 0.80 0.90 2.40 4.40
ポジショニングスピード(m/s) 25 18 14 6 4
標準スキャン角度(°) ±25 ±25 ±25 ±25 ±25
ゲインエラー(mrad) <5 <5 <5 <5 <5
ゼロオフセット(mrad) <5 <5 <5 <5 <5
非線形性(%) <0.4 <0.4 <0.4 <0.4 <0.4
電源 ±15VDC, ≧3A ±15VDC, ≧3A ±15VDC, ≧3A ±15VDC, ≧3A ±15VDC, ≧3A
コミュニケーションプロトコル XY2-100 XY2-100 XY2-100  XY2-100 XY2-100
操作温度(℃) 25±10 25±10 25±10 25±10 25±10
重さ(kg) 2.3 5 5.2 8.8 10.8



ExtraScanⅠ

ExtraScanⅠ ExtraScanⅠ 10 ExtraScanⅠ 14 ExtraScanⅠ 20 ExtraScanⅠ 30
入力ビーム径(mm) 10 14 20 30
ビーム変位(mm) 12.54 16.42 25.25 35.53
トラッキングエラー(ms) 0.3 0.4 0.65 1.2
繰り返し性(μrad) <1 <1 <1 <1
オフセットドリフト(μrad/K) <15 <15 <15 <15
ゲインドリフト(ppm/K) <8 <8 <8 <8
長期ドリフト
(mrad, 8時間以上)
<0.1 <0.1 <0.1 <0.1
1%フルスケール(ms) 0.55 0.85 1.00 1.50
10%フルスケール(ms) 1.40 1.80 3.00 5.00
ポジショニングスピード(m/s) 7 5 3 2
標準スキャン角度(°) ±25 ±25 ±25 ±25
ゲインエラー(mrad) <5 <5 <5 <5
ゼロオフセット(mrad) <5 <5 <5 <5
非線形性(%) <0.1 <0.1 <0.1 <0.1
電源 ±15VDC, ≧3A ±15VDC, ≧3A ±15VDC, ≧3A ±15VDC, ≧3A
コミュニケーションプロトコル 16bit: XY2-100
20bit: ST2-100
16bit: XY2-100
20bit: ST2-100
16bit: XY2-100
20bit: ST2-100
16bit: XY2-100
20bit: ST2-100
操作温度(℃) 25±10 25±10 25±10 25±10
重さ(kg) 1.9 2.3 5 5.2



ExtraScanⅡ

Enough10 パラメーター
入力ビーム径(mm) 10
ビーム変位(mm) 12.54
トラッキングエラー(ms) 0.2
繰り返し性(μrad) <30
オフセットドリフト(μrad/K) <30
ゲインドリフト(ppm/K) <110
長期ドリフト
(mrad, 8時間以上)
<0.50
1%フルスケール(ms) 0.50
10%フルスケール(ms) 1.30
ポジショニングスピード(m/s) 9
標準スキャン角度(°) ±12.5
ゲインエラー(mrad) <10
ゼロオフセット(mrad) <10
非線形性(%) <1
電源 ±15VDC, ≧3A
コミュニケーションプロトコル XY2-100
操作温度(℃) 25±10
重さ(kg) 1.9


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3軸スキャンヘッド

< 3D大面積ダイナミックフォーカスシステム>
ガルバノスキャンシステムとボイスコイルモーターの組合せで、3D曲面や大型サイズを実現。
3d Large Field Size Dynamics Focusing System
< ハイスピード3D&2.5Dスキャニングシステム >
14mm2次元ガルバノメーターとVCM-Z反射Z軸集光システムにより、高速3次元処理を実現。
High Speed 3d & 2.5d Scanning System 14mm



3D大面積ダイナミックフォーカスシステム

  CO2 IR UV
スキャン角度(°) ±11 ±11 ±11
システム修正順応精度 ≤0.1mm
(フィールドサイズ≤800x800mm)
≤0.1mm
(フィールドサイズ≤800x800mm)
≤0.1mm
(フィールドサイズ≤800x800mm)
繰り返し性(urad) 2 2 5
最大ゲインドリフト
(ppm/k)
80 80 8
最大オフセットドリフト
(uRad/k)
15 15 15
長期ドリフト
(mrad, 8時間以上)
≤0.3 ≤0.3 ≤0.1
トラッキングエラー(ms) ≤0.70 ≤0.30/≤0.45/≤0.7 ≤0.45
波長(nm) 10,600 1064 355
入射スポット径(mm) 15 7/10 6
開口サイズ(mm) 30 14/20/30 20
最大レーザーパワー
CW(w/cm2)
1000 1500 300



ハイスピード3D&2.5Dスキャニングシステム

  項目 単位 パラメーター
電源 入力電圧 vac 170~264
出力電圧 vdc ±15
電流 a 10
操作ボード 入力インターフェース   XY-200
出力インターフェース   イーサネットポート
レーザータイプ   UV, IR, Green
環境 周辺温度 0~ +40
保管温度 -10~ +60
湿度   ≤75% 結露無し
偏光ユニット仕様 スキャン角度 ° ±11.5
繰り返し性 urad 5
最大ゲインドリフト ppm/K 12
最大オフセットドリフト urad/K 30
長期ドリフト(8時間以上) mrad 0.3
最大処理速度 s 650
スモールステップ応答 ms ≤0.18
ダイナミックズームスステム スモールステップ応答 ms ≤1.6
光学仕様 レーザー   UVレーザー YAG/ファイバー グリーン
波長 nm 355 1064 532
コーティング   ARフィルム
開口サイズ mm φ14
システム入力レーザービーム mm 9 7 3.5
構造仕様 重さ kg 8
寸法(長さx幅x高さ) mm 324x140x181.5

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Z軸スキャンヘッド

VCM F1VCM G2VCM Z


異なる波長とスポット径のレーザーに対応し、異なるクリアアパーチャーのZ軸レンズを柔軟に構成することが可能です。


VCM F1

VCM F1
入力ビーム径(mm) 20
出力ビーム径(mm) 40
ストローク(mm) 20
トラッキングエラー(ms) 0.7
標準速度(mm/s) ≤180
繰り返し性(μm) <0.5
非直線性(%) 0.05
長期ドリフト(μm, 8時間以上) <3
電源 ±15VDC, ≥3A
デジタルインターフェース XY-100
操作温度(℃) 25±10



VCM G2

VCM G2
入力ビーム径(mm) ≤22
出力ビーム径(mm)  
ストローク(mm) 9
トラッキングエラー(ms) 1.5(≤16mmレンズ径)
2.2(18~22mmレンズ径)
標準スピード(mm/s) ≤100
焦点スピード(m/s) /
繰り返し性(μm) <1
非直線性(%) 2
長期ドリフト
(μm, 8時間以上)
<10
電源 ±15VDC, ≥3A
デジタルインターフェース XY2-100
操作温度(℃) 25±10



VCM Z

VCM Z
入力ビーム径(mm) 14
出力ビーム径(mm) 14
ストローク(mm) ±15(焦点範囲)
トラッキングエラー(ms) ≥0.15
焦点スピード(m/s) 20m/sまで(f=160mm)
繰り返し性(μm) <1
非直線性(%) 0.4
長期ドリフト
(μm, 8時間以上)
<6
電源 ±15VDC, ≥3A
デジタルインターフェース XY2-100
操作温度(℃) 25±10


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Shanzhen Han’s Scanner社は標準のレーザー走査型ガルバノメーター製品の開発に加えて、
専門的なレーザーガルバノメーターシステムスキャンソリューションも提供しています。
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