スキャンヘッド　Hans Scanner

2軸スキャンヘッド
3軸スキャンヘッド
Z軸スキャンヘッド

Shenzhen Han’s Scanner社は標準のレーザー走査型ガルバノメーター製品の開発に加えて、専門的なレーザーガルバノメーターシステムスキャンソリューションも提供しています。
ガルバノスキャナーとは、1個以上のミラーを使用してレーザー光を操作する仕組みの事です。

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2軸スキャンヘッド

< ウルトラスキャン> 低ノイズ、高直線性、低ドリフト。
< エクストラスキャン> 23ビット解像度により、優れた位置決め精度と繰り返し位置精度を実現します。
<ユニスキャン> DAボードとドライブボードを一体化。

UltraScanⅠ

UltraScanⅠ	UltraScanⅠ 14	UltraScan Ⅰ 20	UltraScanⅠ 30	UltraScanⅠ 50
入力ビーム径(mm)	14	20	30	50
ビーム変位(mm)	16.42	25.25	35.61	62.25
トラッキングエラー(ms)	0.23	0.45	0.70	1
繰り返し性(μrad)	<2	<2	<2	<2
オフセットドリフト(μrad/K)	<15	<15	<15	<15
ゲインドリフト(ppm/K)	<80	<80	<80	<80
長期ドリフト (mrad, 8時間以上)	<0.3	<0.3	<0.3	<0.3
1%フルスケール(ms)	0.65	0.80	1.20	1.50
10%フルスケール(ms)	1.60	2.50	4.50	6.50
ポジショニングスピード(m/s)	10	5	3	1
標準スキャン角度(°)	±25	±25	±25	±25
ゲインエラー(mrad)	<5	<5	<5	<5
ゼロオフセット(mrad)	<5	<5	<5	<5
非線形性(%)	<0.4	<0.4	<0.4	<0.4
電源	±15VDC, ≧3A	±15VDC, ≧3A	±15VDC, ≧3A	±15VDC, ≧3A
コミュニケーションプロトコル	16bit: XY2-100 20bit: ST2-100	16bit: XY2-100 20bit: ST2-100	16bit: XY2-100 20bit: ST2-100	16bit: XY2-100 20bit: ST2-100
操作温度(℃)	25±10	25±10	25±10	25±10
重さ(kg)	2.3	5	5.2	8.8

UltraScanⅡ

UltraScanⅡ	UltraScanⅡ 7	UltraScanⅡ 10	UltraScanⅡ 14	UltraScanⅡ 20	UltraScanⅡ 30
入力ビーム径(mm)	7	10	14	20	30
ビーム変位(mm)	9.77	12.54	16.42	25.25	35.53
トラッキングエラー(ms)	0.15	0.12	0.15	0.35	0.6
繰り返し性(μrad)	<2	<2	<2	<2	<2
オフセットドリフト(μrad/K)	<20	<12	<12	<12	<12
ゲインドリフト(ppm/K)	<100	<50	<50	<50	<50
長期ドリフト (mrad, 8時間以上)	<0.4	<0.15	<0.15	<0.15	<0.15
1%フルスケール(ms)	0.22	0.30	0.35	0.70	1.10
10%フルスケール(ms)	0.80	0.80	0.90	2.40	4.40
ポジショニングスピード(m/s)	25	18	14	6	4
標準スキャン角度(°)	±25	±25	±25	±25	±25
ゲインエラー(mrad)	<5	<5	<5	<5	<5
ゼロオフセット(mrad)	<5	<5	<5	<5	<5
非線形性(%)	<0.4	<0.4	<0.4	<0.4	<0.4
電源	±15VDC, ≧3A	±15VDC, ≧3A	±15VDC, ≧3A	±15VDC, ≧3A	±15VDC, ≧3A
コミュニケーションプロトコル	XY2-100	XY2-100	XY2-100	XY2-100	XY2-100
操作温度(℃)	25±10	25±10	25±10	25±10	25±10
重さ(kg)	2.3	5	5.2	8.8	10.8

ExtraScanⅠ

ExtraScanⅠ	ExtraScanⅠ 10	ExtraScanⅠ 14	ExtraScanⅠ 20	ExtraScanⅠ 30
入力ビーム径(mm)	10	14	20	30
ビーム変位(mm)	12.54	16.42	25.25	35.53
トラッキングエラー(ms)	0.3	0.4	0.65	1.2
繰り返し性(μrad)	<1	<1	<1	<1
オフセットドリフト(μrad/K)	<15	<15	<15	<15
ゲインドリフト(ppm/K)	<8	<8	<8	<8
長期ドリフト (mrad, 8時間以上)	<0.1	<0.1	<0.1	<0.1
1%フルスケール(ms)	0.55	0.85	1.00	1.50
10%フルスケール(ms)	1.40	1.80	3.00	5.00
ポジショニングスピード(m/s)	7	5	3	2
標準スキャン角度(°)	±25	±25	±25	±25
ゲインエラー(mrad)	<5	<5	<5	<5
ゼロオフセット(mrad)	<5	<5	<5	<5
非線形性(%)	<0.1	<0.1	<0.1	<0.1
電源	±15VDC, ≧3A	±15VDC, ≧3A	±15VDC, ≧3A	±15VDC, ≧3A
コミュニケーションプロトコル	16bit: XY2-100 20bit: ST2-100	16bit: XY2-100 20bit: ST2-100	16bit: XY2-100 20bit: ST2-100	16bit: XY2-100 20bit: ST2-100
操作温度(℃)	25±10	25±10	25±10	25±10
重さ(kg)	1.9	2.3	5	5.2

ExtraScanⅡ

Enough10	パラメーター
入力ビーム径(mm)	10
ビーム変位(mm)	12.54
トラッキングエラー(ms)	0.2
繰り返し性(μrad)	<30
オフセットドリフト(μrad/K)	<30
ゲインドリフト(ppm/K)	<110
長期ドリフト (mrad, 8時間以上)	<0.50
1%フルスケール(ms)	0.50
10%フルスケール(ms)	1.30
ポジショニングスピード(m/s)	9
標準スキャン角度(°)	±12.5
ゲインエラー(mrad)	<10
ゼロオフセット(mrad)	<10
非線形性(%)	<1
電源	±15VDC, ≧3A
コミュニケーションプロトコル	XY2-100
操作温度(℃)	25±10
重さ(kg)	1.9

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3軸スキャンヘッド

< 3D大面積ダイナミックフォーカスシステム> ガルバノスキャンシステムとボイスコイルモーターの組合せで、3D曲面や大型サイズを実現。
< ハイスピード3D&2.5Dスキャニングシステム > 14mm2次元ガルバノメーターとVCM-Z反射Z軸集光システムにより、高速3次元処理を実現。

3D大面積ダイナミックフォーカスシステム

	CO2	IR	UV
スキャン角度(°)	±11	±11	±11
システム修正順応精度	≤0.1mm (フィールドサイズ≤800x800mm)	≤0.1mm (フィールドサイズ≤800x800mm)	≤0.1mm (フィールドサイズ≤800x800mm)
繰り返し性(urad)	2	2	5
最大ゲインドリフト (ppm/k)	80	80	8
最大オフセットドリフト (uRad/k)	15	15	15
長期ドリフト (mrad, 8時間以上)	≤0.3	≤0.3	≤0.1
トラッキングエラー(ms)	≤0.70	≤0.30/≤0.45/≤0.7	≤0.45
波長(nm)	10,600	1064	355
入射スポット径(mm)	15	7/10	6
開口サイズ(mm)	30	14/20/30	20
最大レーザーパワー CW(w/cm2)	1000	1500	300

ハイスピード3D&2.5Dスキャニングシステム

	項目	単位	パラメーター
電源	入力電圧	vac	170~264
	出力電圧	vdc	±15
	電流	a	10
操作ボード	入力インターフェース		XY-200
	出力インターフェース		イーサネットポート
	レーザータイプ		UV, IR, Green
環境	周辺温度	℃	0~ +40
	保管温度	℃	-10~ +60
	湿度		≤75% 結露無し
偏光ユニット仕様	スキャン角度	°	±11.5
	繰り返し性	urad	5
	最大ゲインドリフト	ppm/K	12
	最大オフセットドリフト	urad/K	30
	長期ドリフト(8時間以上)	mrad	0.3
	最大処理速度	s	650
	スモールステップ応答	ms	≤0.18
ダイナミックズームスステム	スモールステップ応答	ms	≤1.6
光学仕様	レーザー		UVレーザー	YAG/ファイバー	グリーン
	波長	nm	355	1064	532
	コーティング		ARフィルム
	開口サイズ	mm	φ14
	システム入力レーザービーム	mm	9	7	3.5
構造仕様	重さ	kg	8
	寸法(長さx幅x高さ)	mm	324x140x181.5

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Z軸スキャンヘッド

異なる波長とスポット径のレーザーに対応し、異なるクリアアパーチャーのZ軸レンズを柔軟に構成することが可能です。

VCM F1

VCM F1
入力ビーム径(mm)	20
出力ビーム径(mm)	40
ストローク(mm)	20
トラッキングエラー(ms)	0.7
標準速度(mm/s)	≤180
繰り返し性(μm)	<0.5
非直線性(%)	0.05
長期ドリフト(μm, 8時間以上)	<3
電源	±15VDC, ≥3A
デジタルインターフェース	XY-100
操作温度(℃)	25±10

VCM G2

VCM G2
入力ビーム径(mm)	≤22
出力ビーム径(mm)
ストローク(mm)	9
トラッキングエラー(ms)	1.5(≤16mmレンズ径) 2.2(18~22mmレンズ径)
標準スピード(mm/s)	≤100
焦点スピード(m/s)	/
繰り返し性(μm)	<1
非直線性(%)	2
長期ドリフト (μm, 8時間以上)	<10
電源	±15VDC, ≥3A
デジタルインターフェース	XY2-100
操作温度(℃)	25±10

VCM Z

VCM Z
入力ビーム径(mm)	14
出力ビーム径(mm)	14
ストローク(mm)	±15(焦点範囲)
トラッキングエラー(ms)	≥0.15
焦点スピード(m/s)	20m/sまで(f=160mm)
繰り返し性(μm)	<1
非直線性(%)	0.4
長期ドリフト (μm, 8時間以上)	<6
電源	±15VDC, ≥3A
デジタルインターフェース	XY2-100
操作温度(℃)	25±10

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