非接触 光学自動計測装置
半導体産業用 精密マイクロ スクライバー
精密ダイアモンド スクライバー
MR200 マイクロスクライバー 精密マイクロ ダイアモンド スクライバー
MR200は精密ダイヤモンドスクライバで、デバイス組込済みのシリコンウェハを手動で正確に切断できます。
MR200はデバイス化されたシリコンウェハを精密に切り離す高精度のスクライビングを可能にします。MR200は例えば研究所など、少量のチップの切り離しにも適しています。
基本セットアップだけでスクライビングパラメータの調整のための多数のオプションが提供されます。高品質のズーム光学系により、倍率を8倍から40倍まで無段階に調整できます。光学系と機械系は追加のオプションモジュールで拡張でき、効率と操作の快適性を向上させることができます。
オプションモジュールには、カメラシステム、画像処理システム、テーブル移動量を測定できるデジタルゲージなどがございます。
高品質のズーム顕微鏡を搭載し、表面のおおまかな状況も詳細も無段階ズームで観察可能です。試料の位置は、x / yステージの微調整で精密に位置決めできます。
スクライブダイヤモンドの設定値を調整することができます。接眼レンズのヘアクロスが設定点の目印となります。
ビデオシステムはオプションで利用可能です。ウェハはPCのモニタ上で観察できるようになります。
MR 200 オプション
テーブル位置測定用 デジタルゲージ 測定範囲100mm
テーブル位置測定用 デジタルゲージ スタンダード 測定範囲200mm
スクライビングのための調整可能な作業角度
倍率8倍の顕微鏡画像 倍率40倍の顕微鏡画像
構造作り込み済みのシリコン ウエハの精密カットに
MR-200は半導体テクノロジーにおけるREM準備のための理想的なツールです。
MR200は構造化済みシリコンウエハを精密カットする上で、必要な高精度スクライブを実現します。MR200は特にREM準備に欠かせないツールです。MR200はまた、少数のチップを切り離すことが多い研究所などにも最適です。
技術パラメータ
・押し出し材によって構成された基本フレーム
・装置サイズ 約400 x 800 x 600mm (W x D x H)mm
・重量 約 20kg
・電磁的スクライブ (高パワー空圧スクライブは、お打ち合わせ)
・フットスイッチによるスクライブチップ制御(下降、上昇)
・スクライブ出力は可変(通常10 – 120g、それ以外はお問い合わせ)
・スクライブ溝幅 約5 – 10μm (スクライブ出力や対称材料に依存)
・下降速度調整可能
・スクライブチップ高さ調整可能
・スクライブチップ動作角度調整可能
・スクライブ粉塵の吸い出し除去
・スムーズに倍率可変 8 – 40倍ズーム顕微鏡
・エッジ、構造、リファレンスマークなどにぴったり合わせ込めるヘアクロス付き顕微鏡
・10μm以上の分解能を持った観察光学系(倍率 x 10において)
・XYステージに搭載された直径200mmのテフロンコート付き真空ウエハチャック(直径100mmも可)
・マイクロメータによるウエハチャックの角度微調(分解能0.006″)
・真空オフすることなく可能なウエハチャックの正確な90°回転
・調整可能なチャックの90°回転用インデックス
・スクライブ移動と粗動位置決めに使える、ストローク各200mmの手動XYステージ
・スクライブ方向に直交な軸に位置を微調可能な25mmストロークマイクロメーター
・スクライブ方向に平行な軸に微調可能な10mmストロークを持ったマイクロメーター
・調光可能なリング状LED照明及び電源
・最小試料サイズ 約10mm x 10mm
・適用ウエハ厚 あらゆるスタンダード厚み
・ウエハ材質 シリコン、GaAs (他の材料は要問い合わせ)
・ビデオシステム用アタッチメント 取付可能
光学系
高品質のズーム光学系により、倍率を8倍から40倍まで無段階に調整できます。顕微鏡はさまざまなアタッチメントが用意されており、必要に応じて機能が追加できます。
オプション アタッチメント
1. デジタルゲージ 200mm このゲージを使えば、スクライブ方向に対して垂直方向へのウエハテーブルの高精度位置決めが可能になります。正しくグリッド型にスクライブしたい用途に有用です。
2. カメラアダプター アップグレードキット対応する顕微鏡へのCCDカメラ適用に。カメラと画像処理用PC及びディスプレイは付属していません。別途必要になります。お客様が用意された装置でも、OEGが提供するビデオシステムでも適用可能です。
3. カラービデオ システム 1.3Mピクセル カラーカメラ、PC、画像処理ソフトで構成されるオプションです。このソフトウエアにてカメラ画像の表示・取込が可能です。接眼倍率8X、16X、40Xに相当する任意倍率で表示されます。
4. 線幅測定 画像処理ソフトウエア モジュールを追加することにより、サブピクセルの分解能を持つ高精度な線幅測定を可能にします。
簡単操作・精密スクライブ
チャック上に固定した基板を位置決めしたら、ウエハ面にフォーカスを合わせます。X方向、Y方向へのステージを手動調整して、基板のリファレンスマークまたは構造を基準にしてスクライブラインを合わせます。高品質なズーム搭載顕微鏡により、構造の全体像と細部を素早く切り換えて検査出来ます。X,Y方向に設置された微調ノブを使えば、極めて正確な位置決めが可能です。次にスクライブチップの透過点を決定します。接眼またはビデオディスプレイ上に現れるクロスを参照してスクライブチップの投下点を精密に調整出来ます。スクライブチップの動作(上昇・下降)はフットスイッチでコントロールするので、両手はスクライブポイントの移動に使えます。スクライブラインが確定したら、フットスイッチでスクラッチチップを下げます。
