防振ワークステーション Kinetic Systems

Kinetic Systems, Inc.  キネティック システム
除振台  ブレッドボード
超低周波数 除振台

MK52 シリーズ  超低周波数 除振ワークステーション 

空気供給不要 
MK52シリーズは高分解能計測機器のために使用されます。超低周波数、低い固有振動数に対応します。
分析天秤、細胞注射、共焦点顕微鏡、パッチクランプ、光学顕微鏡、ウエハー プロービング、センサー キャリブレーション、原子間力顕微鏡などに使用されます。

特徴および利点

  • 新しい人間工学に基づいたデザイン
  • 超低固有振動数
  • Vibradamped フレーム
  • カスタマイズ可能なアクセサリー
  • 空気の供給は不要です。取扱い容易
  • 天板を選択できます。
  • 人間工学に基づいたスタイリング
  • Class 100 クリーンルーム対応
  • Class 10 可能

Max. Load Capacity  2000 lbs.
Max. Width of Tabletop 96”
Max. Depth of Tabletop 48”
Vertical Natural Frequency 0.5 Hz
Horizontal Natural Frequency 0.5 Hz
Isolation Efficiency @ 2 Hz  93%
Isolation Efficiency @ 5 Hz 99%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 99.7%

Minus K 特許取得 負の剛性振動絶縁 超低固有周波数、高い内部構造周波数 優れた垂直、水平絶縁効率

より人間工学的な快適さを持つ新MK52シリーズ振動制御ワークステーションは、超低固有周波数アプリケーション用として特別に設計されています。Kinetic Systems社は、マイナスK技術という特許取得の負の剛性除振システムを利用して製造しており、超低固有振動数、高い内部構造周波数、および優れた垂直方向と水平方向の除振効率を持つコンパクトでパッシブ(受動)の除振ワークステーションです。MK52は、はるかに優れた快適性と追加の脚スペースを提供するためにアップグレードされました。

マイナスK垂直アイソレータは、静荷重サポート能力に影響を与えることなく、低正味垂直剛性を達成するために硬いバネと負剛性メカニズムを使用しています。

新しいMK52シリーズ ワークステーションは、MK26シリーズ振動制御ワークステーションの比類のないパフォーマンスに基づいた設計を実装し、拡張された作業面の優れた除振効率達成を可能にするデュアルアイソレータのコンセプトを備えています。0.5Hzの固有周波数に同調したとき、システムは2ヘルツで93%、5 Hzで99%および10 Hzで99.7%のアイソレーション特性を有しています。

MK52シリーズは、多種多様なアプリケーション用に設計されており、当社の除振ワークステーション用アクセサリーのほとんどにカスタマイズすることができます。

MK52除振ワークステーションの典型的な振動制御アプリケーション

MK52シリーズは、半導体プロセスや電気通信、航空宇宙工学、医学研究等の分野に於いて、例えば、化学天秤、細胞注射、共焦点顕微鏡、パッチクランプ、光学顕微鏡、ウェーハプローブ、センサー較正、原子間力顕微鏡(AFM)、その他の敏感な機器など、幅広い機器に究極のパフォーマンスを提供します。

2800 シリーズ 超低周波数 空気圧除振ワークステーション

超低周波数超レベル対応 空気圧防振ワークステーション  軽負荷用

  • 軽負荷用 90kgまで
  • 超低固有振動数
  • Vibradampedフレーム
  • カスタマイズ可能なアクセサリー
  • 天板の選択
  • 人間工学に基づいたスタイリング
  • クラス100クリーンルーム対応
  • クラス10 可能

Max. Load Capacity  200 lbs. 
Max. Width of Tabletop  30” 
Max. Depth of Tabletop  30” 
Vertical Natural Frequency  1.4 Hz 
Horizontal Natural Frequency  1.1 Hz 
Vertical Isolation Effiency @ 10 Hz 96%
Horizontal Isolation Efficiency @ 10 Hz 97%

LLHP(軽荷重高性能)超低周波空気圧除振ワークステーションは、重量が100ポンド(45kg)(最大200ポンド:90kg)レンジの敏感な機器が必要とする厳しい振動制御要件を満足するように設計されています。Kinetic Systems社は、他の機械システムよりも性能が優れている卓越した水平軸の除振および高レベルの垂直軸の除振を提供するために、独自のtrifler振り子マウントおよびアクティブエアサスペンションを使用しています。

コンパクトな間工学に基づいたデザインは、自動レベル調整機能と低い固有振動数(水平軸方向で1.1 Hz、垂直軸方向で1.4 Hz)を実現しています。ワークステーションは、10 Hz以上で垂直除振効率96%、水平除振効率97%を達成することができます。

LLHPワークステーションの代表的なアプリケーション
原子間力顕微鏡、分析天びん等に最適な2800シリーズLLHPは、クラス100のクリーンルーム対応に設計され、ユーザーの快適性と利便性を高めるための様々なアクセサリーの装備することができます。Kinetic Systems社のワークステーションは、半導体プロセスや通信、航空宇宙工学、医学研究などのアプリケーションで性能が実証されています。

MK26 シリーズ 超低周波数 スプリング アクティブ ワークステーション 

空気供給不要 超低固有周波数に対応

特徴および利点

  • 新しい人間工学に基づいたスタイリング、デザイン
  • 超低固有振動数
  • Virbedamped フレーム
  • カスタマサイズ可能なアクセサリー
  • 空気供給は不要 使いやすさ容易
  • 天板選択可
  • クラス100クリーンルーム対応
  • クラス10可能

Max. Load Capacity  650 lbs.
Max. Width of Tabletop 48”
Max. Depth of Tabletop 36”
Vertical Natural Frequency 0.5 Hz
Horizontal Natural Frequency 0.5 Hz
Isolation Efficiency @ 2 Hz  93%
Isolation Efficiency @ 5 Hz 99%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 99.7%

より人間工学的な快適さを持つ新MK26シリーズ振動制御ワークステーションは、超低固有周波数アプリケーション用として特別に設計されています。Kinetic Systems社は、マイナスK技術という特許取得の負の剛性除振システムを利用して製造しており、超低固有振動数、高い内部構造周波数、および優れた垂直方向と水平方向の除振効率を持つコンパクトでパッシブ(受動)の除振ワークステーションです。MK26は、はるかに優れた快適性と追加の脚スペースを提供するためにアップグレードされました。

マイナスK垂直アイソレータは、静荷重サポート能力に影響を与えることなく、低正味垂直剛性を達成するために硬いバネと負剛性メカニズムを使用しています。

水平除振は、垂直運動アイソレータと直列に接続されたビームカラムによって提供されます。

1/2Hz固有振動数に調整 2Hzでは除振効率93% 5Hzでは99% 10Hzでは99.7%達成しています。

MK26シリーズは、多種多様なアプリケーション用に設計されており、当社の除振ワークステーション用アクセサリーのほとんどにカスタマイズすることができます。

MK26除振ワークステーションの典型的な振動制御アプリケーション
MK26シリーズは、半導体プロセスや電気通信、航空宇宙工学、医学研究等の分野に於いて、例えば、化学天秤、細胞注射、共焦点顕微鏡、パッチクランプ、光学顕微鏡、ウェーハプローブ、センサー較正、原子間力顕微鏡(AFM)、その他の敏感な機器など、幅広い機器に究極のパフォーマンスを提供します。

8002シリーズ アクティブ防振ワークステーション

空気の供給は不要です。
8002シリーズは高分解能を必要とする機器、チェック軽量、原子間力顕微鏡、マイクロ硬度計など敏感な高分解能機器に使用されます。

特徴および利点

  • アクティブ フィードバック防振コントロール  高速応答と制御
  • 6つの並進と振動の回転運動の振動コントロール
  • 超低固有振動数 < 1Hz
  • 空気の供給不要  取扱い容易
  • 2Hz以上の優れた防振効率
  • エアーテーブルより500倍Stiffer
  • 高い重心、動く荷重に対応
  • 総負荷容量545kg

Max. Load Capacity 1200 lbs. 
Max. Width of Tabletop 72" 
Max. Depth of Tabletop 60"
Natural Frequency 0.9 Hz
Isolation Efficiency @ 2Hz 90%
Isolation Efficiency @ 5Hz 94%
Isolation Efficiency @ 10Hz 97%

8002シリーズ・アクティブ除振ワークステーションは、コンパクトで軽量な床置き型の振動制御システムで、標準的な受動振動制御システムの性能に比べて、優れた除振性能を提供するために振動検知および応答性に優れています。正確な自動レベル調整機構は、ユーザ設定なしで負荷の変動を調整します。

8002振動制御ワークステーションの代表的なアプリケーション
8002シリーズは、例えば、計量のチェック、原子間力顕微鏡、マイクロ硬度計、プロフィルメータおよび高除振効率を必要とするその他の敏感な機器など、幅広い高解像度機器に究極の除振パフォーマンスを提供します。

9100シリーズ ワークステーション

特徴および利点

  • 垂直防振
  • 水平防振
  • VibraDamped スチール フレーム
  • 高性能アクティブ エアー サスペンション
  • 予めセットした水平レベルを維持します。負荷追加または除去に関係ありません。
  • 12のスタンダード サイズから選べます。カスタム サイズも出来ます。
  • 人間工学に基づいたデザイン
  • クラス100クリーン ルーム   クラス10も可能
  • 高精密バルブで0.001インチのレベル精度

 

Performance Data
Min. Load @ 20 psi 
  
   
Vertical Natural Frequency 1.9 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 70%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 90%
   
Horizontal Natural Frequency  2.2 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 64%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 90%
   
Maximum Load @ 80 psi    
   
Vertical Natural Frequency  1.5 Hz 
Isolation Efficiency @ 5 Hz 85%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 97%
   
Horizontal Natural Frequency  1.2 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 91%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 97%
   
Gross Load Capacity @ 80 psi  
9101 800 lbs. (363 Kg)
9102 1300 lbs. (590Kg)
   
Finish   
Standard Linear White Smooth
Polyurethane
Class 10 White Epoxy
Powder Coat
Note: Typical performance efficiencies are for microdisturbances.
Below are the specifications for the 9100 Series high performance vibration isolation workstation

9100シリーズ除振ワークステーションは、振動制御アプリケーションの大半の業界標準です。
精密機器や1300ポンド(589kg)までの計量実験用に設計されており、9100シリーズは、効率的で美しく、人間工学的なスタイルをした作業台です。これは、様々な業面やアクセサリーを追加することにより、定の用途に合わせてカスタマイズすることができる快適な作業環境を提供します。9100は、垂直方向と水平方向の両方の除振を提供します。アクティブエアサスペンションの付いたVibraDamped鉄骨で支持されており、作業面は、荷重の追加や除去に関係なく、プリセットゼロ偏向レベルを維持します。

9100シリーズには、2つの荷重容量が容易されており、フィールドで所望の容量に変換可能です。

代表的なアプリケーション
分析天秤、細胞注射、共焦点顕微鏡、パッチクランプ、光学顕微鏡、ウェーハプロービング、マスクアライメント、原子間力顕微鏡、顕微鏡

推奨するアクセサリー

  • ガード レール 前後 (アクセサリーのために必要)
  • サイド ガードレール
  • アーム レスト
  • 収納(引き込める)出来るキャスター  移動が簡単
  • ファラディー ケージ
  • 固定棚  スタンダードとカスタム サイズ
  • スライド棚  (ガードレール 前後が必要)
  • モニター サポート 
  • キーボード棚
  • オーバーヘッド 機器棚 (リア)
  • オーバーヘッド 機器棚 (サイド)
  • エンクロージャー  精密機器の追加保護
  • 小型コンプレッサー
  • 電気コンセント
  • カスタム サイズ
  • クラス10クリーンルーム対応

1200シリーズ 重量ワークステーション

1200シリーズ 防振ワークステーション

特徴および利点

  • 移動荷重と高い重心に対応
  • 超低垂直固有振動数
  • 効率 99% 
  • 高性能アクティブ エアー サスペンション
  • 自動レベル、高さコントロール
  • 性能向上のためのVibraDamped
  • 厚さ1インチ VibraDamped スチールまたは、厚さ4インチの花崗岩の天板
  • クラス100クリーンルーム対応 クラス10使用可能 

 

Performance Data
Min. Load @ 20 psi
 
   
Vertical Natural Frequency 2.1 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 43%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 89%
   
Horizontal Natural Frequency 3.5 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 40%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 80% 
   
Max. Load @ 80 psi  
   
Vertical Natural Frequency 1.6 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 76%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 93%
   
Horizontal Natural Frequency 2.5 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 75%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 88%
   
Gross Load Capacity @ 80 psi  
1201 1300 lbs. (590 kg)
1202 2800 lbs. (1270 kg)
   
Finish   
Standard Charcoal Grey Medium Textured Polyurethane
Class 10 White Epoxy Powder Coat

1200シリーズLabMateワークステーションは、信頼性の高い除振作業環境を提供する実績のあるパフォーマーです。

代表的なアプリケーション
表面プレート、分析天びん、細胞注射、共焦点顕微鏡、電気生理学、光学顕微鏡、トンネル顕微鏡、ウェーハプロービング、真円度チェッカー、マスクアライナ、三次元測定機(CMM)およびプローバアプリケーション

9200シリーズ パーソナル ワークステーション

9200シリーズ パーソナル防振ワークステーション

特徴および利点

  • 垂直方向と水平方向の防振
  • 高性能アクティブ エアー サスペンション
  • 人間工学に基づいたスタイリング
  • オート レベリング
  • 厚さ1インチ VibraDamped スチール テーブルトップ
  • クラス100クリーンルーム対応 クラス10使用可能
  • フロント ガードレール 標準

 

Performance Data
Min. Load @ 20 psi 
 
   
Vertical Natural Frequency  2.1 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 72%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 95%
   
Horizontal Natural Frequency  1.8 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 82%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 93% 
   
Max. Load @ 80 psi  
   
Vertical Natural Frequency  1.5 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 85%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 97%
   
Horizontal Natural Frequency  1.6 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 84%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 94%
   
Gross Load Capacity @ 80 psi  
600 lbs. (272 kg)  
   
Finish  
Standard Linear White Smooth Polyurethane
Class 10 White Epoxy Powder Coat

代表的なアプリケーション
原子間力顕微鏡、細胞注射、共焦点顕微鏡、マスクアライメント、計量、顕微鏡、光学顕微鏡、パッチクランプ、ウェーハプロービング

2000シリーズ 高さ可変ワークステーション

9200シリーズ パーソナル防振ワークステーション

特徴および利点

  • VibraDamped スチール構造
  • 高性能アクティブ エアー サスペンション
  • 12のスタンダード サイズ、10種類のテーブルトップから選択
  • オート レベリング コントロール
  • 高さ調整30cm
  • クラス10クリーンルーム対応  クラス10使用可能
  • フロントとリアのガードレール 標準装備

 

Performance Data
Min. Load @ 20 psi 
 
   
Vertical Natural Frequency  1.9 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 70%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 90%
   
Horizontal Natural Frequency  2.2 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 64%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 90% 
   
Max. Load @ 80 psi   
   
Vertical Natural Frequency  1.5 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 85%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 97%
   
Horizontal Natural Frequency  1.2 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 91%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 97%
   
Gross Load Capacity @ 80 psi  
2001 800 lbs.
(363 kg)
2002 1300 lbs.
(590 kg)
Finish  
Standard Linear White Smooth Polyurethane
Class 10 White Epoxy Powder Coat

代表的なアプリケーション
原子間力顕微鏡、細胞注射、共焦点顕微鏡、マスクアライメント、計量、顕微鏡、光学顕微鏡、パッチクランプ、ウェーハプロービング

9600シリーズ クリーンルーム ワークステーション

9200シリーズ パーソナル防振ワークステーション

特徴および利点

  • クラス1とクラス10クリーンルーム対応
  • 円筒の支持は水平表面を最小にします。
  • 完全に囲まれた防振モジュール
  • 高性能アクティブ エアー サスペンション
  • クラス1のために、ステンレス スチール バルブと排気
  • 減衰ステンレス スチール トップ
  • オプション ガードレールとスライド棚

 

Min. Load @ 20 psi   
   
Vertical Natural Frequency  2.0 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 50%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 90%
   
Horizontal Natural Frequency  2.3 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 71%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 92% 
   
Max. Load @ 80 psi   
   
Vertical Natural Frequency  1.5 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 75%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 93%
   
Horizontal Natural Frequency  1.6 Hz
Isolation Efficiency @ 5 Hz 87%
Isolation Efficiency @ 10 Hz 95%
   
Gross Load Capacity @ 80 psi  
9601/9611 800 lbs.
(363 kg)
9602/9612 1300 lbs.
(590 kg)
   
Finish  
Class 1   Electropolish
Class 10 Clear Passivate

9600シリーズ除振ワークステーションは、クラス1またはクラス10クリーンルームの規格に完全に準拠するように設計されました。この除振効率は優れており、きれいに拭き取りが簡単にできるようにステンレス鋼で構成されます。溶接継手は、最大の剛性を確保します。

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