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接触角・表面張力測定装置 SURFTENSシリーズ ｜OEG

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ドイツの精密技術が実現する高精度測定。
コンパクトな設計と直感的なソフトで固体・液体の表面特性を迅速に評価

SURFTENSシリーズは、接触角や表面張力・界面張力を高精度に測定する表面解析システムです。Windows対応の専用ソフトウェアを標準搭載し、液滴の自動認識や表面自由エネルギー解析に対応。手動のエントリーモデルから自動マッピング測定が可能な全自動モデルまで、多様な研究開発・品質管理のニーズに応えます。

SURFTENSシリーズの主な機能

✓ 接触角測定
✓ 表面自由エネルギー（SFE）解析
✓ 表面張力・界面張力測定（ペンダントドロップ法）
✓ 静的・動的接触角解析
✓ 液滴の自動認識・自動解析
✓ 自動マッピング測定（※Automaticに搭載） または（※モデルによる）

SURFTENSシリーズ 全ラインナップ
接触角測定装置（標準システム）
大型試料・ウェハ専用システム
画像処理ソフト・拡張オプション

SURFTENSシリーズ 全ラインナップ

接触角測定装置（標準システム）

SURFTENS Basic

手動エントリー

SURFTENS Basic

[サイズ] 100×200mm / [制御] 手動

研究開発・教育用途に最適。シンプルな操作性とコストパフォーマンスを両立。
　　　　　SURFTENS Universal

多目的・高拡張性

SURFTENS Universal

[サイズ] 100×200mm / [制御] 手動・電動

多目的な品質管理に。電動モジュールなどの拡張オプションに対応。

全自動マッピング

SURFTENS automatic

[サイズ] 200×200mm / [制御] 全自動

自動ステージ搭載。ハイスループットな連続自動測定を実現。

大型試料・ウェハ専用システム

大型基板・手動

SURFTENS HL

[対象] 大型基板・200mmウェハ / [制御] 手動

大型基板や最大200mmウェハをそのまま設置して測定可能な大型モデル。

大型基板・全自動

SURFTENS HL automatic

[対象] 大型基板・300mmウェハ / [制御] 全自動

最大300mmウェハ・大型基板の全自動マッピング測定に対応。

半導体専用・全自動

SURFTENS WH 300

[対象] 300mmウェハ / [制御] 全自動搬送・測定

300mmウェハ専用。半導体製造ライン・先端開発向けの最高峰モデル。

画像処理ソフト・拡張オプション

接触角標準 Standard

校正用オプション

接触角標準 Standard

[用途] 日常点検・校正・精度保証

高精度な標準パターンで、装置の日常点検・校正・精度保証を日常化。
SURFTENS ソフトウェア

解析ソフト

SURFTENS ソフトウェア

[機能] 接触角認識・SFE自動算出

接触角の自動認識・解析から表面自由エネルギー（SFE）算出まで一括処理。
SURFTENS PD

表面張力解析

SURFTENS PD

[手法] Pendant Drop（懸滴法）

懸滴法（Pendant Drop法）により、液体の表面張力・界面張力を高精度測定。

■ SURFTENS シリーズ 仕様・機能 比較一覧
（※横スクロールで全機種比較 ➔）

項目 / モデル Basic Universal automatic HL / HL auto WH 300
外観イメージ Basic Universal automatic HL WH 300
主な用途・ターゲット 研究開発・教育機関
（コスト重視）		 多目的・品質管理
（標準拡張機）		 全自動・量産検査
（高効率化）		 大型ガラス/パネル基板
（非破壊測定）		 半導体ウェハ専用
（全自動ライン）
自動化・操作レベル 手動（マニュアル） 半自動（吐出自動） 全自動（マッピング） 手動 / 全自動 完全自動（搬送〜解析）
対象サンプル規格 100 × 200 mm 100 × 200 mm
※大型対応可		 200 × 200 mm 大型基板対応 300mm (12インチ)
ウェハ
ステージ（試料台）操作 手動 (XYZ軸) 手動
※傾斜等追加可		 完全電動XYZ
(プログラム自動)		 手動 / 電動 ロボット自動搬送
＋電動ステージ
液滴吐出 (Dispensing) 手動シリンジ 自動電動シリンジ
(ソフト定量制御)		 全自動マルチ
(複数液滴対応)		 手動 / 電動 全自動ディスペンサー
拡張オプション性 標準機能のみ 高（傾斜台/温調等） 中（各種ステージ） 中（大型ホルダー） 専用構成（クリーン仕様）
主な機能 ・静的接触角
・SFE計算		 ・静的/動的接触角
・SFE解析		 ・静的/動的接触角
・自動マッピング
・SFE解析		 ・多点接触角
・面内分布解析
・SFE解析		 ・ウェハ自動レシピ
・接触角/SFE解析
・クリーン対応
特長 高精度光学系を備えた標準エントリー機。 電動吐出で誤差カット。一番人気の拡張モデル。 ボタン1つで滴下〜マッピングまで完全自動。 大型パネルを切断せず非破壊のまま測定。 全自動搬送・レシピ運転対応の最高峰機。

接触角測定装置（標準システム）

エントリーモデル

SURFTENS Basic

手動ドージング＆シンプル操作。R&D・品質管理のファーストステップに最適な手動接触角測定装置

【製品外観】


SURFTENS Basic 本体外観

SURFTENS Basic 本体外観

【実演デモ動画】

実演デモ動画 1（操作・アライメント）

実演デモ動画 2（滴下・測定解析）

主な特長

  • 手動マイクロメータードージング：高精度なマイクロメーターを用いて滴下量を正確に調整可能。
  • 高分解能USB3.0カメラ：鮮明な液滴エッジ画像をリアルタイムキャプチャ。
  • 直感的な解析ソフトウェア：接触角・表面自由エネルギー（SFE）を簡単操作で瞬時に算出。
  • コンパクト・堅牢設計：実験台の省スペース化と安定した測定環境を両立。

▶
詳細スペック・仕様を見る（クリックで展開）

詳細説明

SURFTENS Basicは、固体の濡れ性評価、洗浄プロセス確認、表面改質効果の判定などの用途において、コストパフォーマンスに優れた手動型モデルです。シンプルな構造でありながら、高精度の光学系と高度な画像処理アルゴリズムを備えており、信頼性の高い接触角データの取得が可能です。

技術仕様（スペック）

測定項目 静的接触角（Static Contact Angle）、表面自由エネルギー（SFE）
測定範囲 0° ～ 180°（精度: ±0.1°）
ドージングシステム 手動マイクロメータードライブシリンジ（液滴量：最小0.1 µL）
ステージ寸法 / 耐荷重 100 mm × 100 mm / 最大 2 kg
サンプル最大サイズ 200 mm × ∞ × 20 mm (L × W × H)
光学・カメラ 高解像度CMOSカメラ（USB 3.0）、高精度ズームレンズ、LED照明
電源 / 寸法・重量 100-240V AC / 450 × 180 × 280 mm / 約 6.5 kg

標準構成品・付属ソフトウェア

  • SURFTENS Basic 本体（光学ユニット・LED照明付）
  • 手動ドージングユニット ＋ 精密ガラスシリンジセット
  • SURFTENS 測定・解析ソフトウェア（ライセンス付）
  • 校正用キャリブレーション・グリッド

標準・汎用モデル

SURFTENS Universal

手動・電動・二重投与など多彩なオプションに対応。前進角・後退角（動的接触角）測定にも対応する多機能標準機

【システム構成バリエーション】

手動投与システム搭載

手動投与システム搭載

電動式投与システム

電動式投与システム

電動式二重投与システム

電動式二重投与システム

電動式＋PC制御構成

電動式＋PC制御構成

【製品実演・解説動画】

製品紹介ムービー

基本装備デモ

全自動バージョンデモ

主な特長

  • 手動・電動・二重投与システム対応：用途や精度要求に合わせて最適な分注ユニットを選択可能。
  • 動的接触角（ヒステリシス）対応：前進角（Advancing）および後退角（Receding）の測定が可能。
  • マルチドージング拡張性：複数液滴を使用した自動表面自由エネルギー（SFE）解析に最適。
  • 高精度XYステージ：試料上の複数ポイントをスムーズかつ精密に移動・測定。

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詳細スペック・仕様を見る（クリックで展開）

詳細説明

SURFTENS Universalは、研究開発から品質管理まで幅広くカバーする万能型接触角測定装置です。手動式および電動式の分注システムをオプションで搭載可能。液滴の吸引・膨張動作をソフト制御することで、滑り性や表面粗さの影響を評価する動的接触角や、表面張力、自由表面エネルギーの精密な取得が可能です。

技術仕様（スペック）

測定項目 静的接触角、動的接触角（前進角・後退角）、表面張力、表面自由エネルギー（SFE）
測定範囲 0° ～ 180°（精度: ±0.1°）
ドージングシステム 手動式 / ソフトウェア制御 モータライズド・ダイレクトドージング / 二重投与オプション
ステージ移動量 X-Y軸：各 50 mm（手動高精度マイクロメーター）
サンプル最大サイズ 220 mm × ∞ × 30 mm (L × W × H)
光学・カメラ 高解像度CMOSカメラ（USB 3.0）、ソフト制御LED照度可変照明
電源 / 寸法・重量 100-240V AC / 500 × 200 × 320 mm / 約 8.2 kg

標準構成品・付属ソフトウェア

  • SURFTENS Universal 本体（各種ドージングドライブ対応）
  • シリンジユニット（構成仕様に応じたセット）
  • SURFTENS 拡張解析ソフトウェア（動的接触角・SFE解析モジュール同梱）
  • 校正用キャリブレーションプレート

全自動・ハイエンド

SURFTENS automatic

自動ドージング＆自動位置決めステージ。多数サンプルの全自動プログラミング測定を実現

【製品外観・システムイメージ】

SURFTENS automatic 本体外観

SURFTENS automatic 本体外観

自動測定解析システム

自動測定・マッピング解析画面

【全自動測定・実演デモ動画】

全自動測定デモ 1

全自動測定デモ 2

主な特長

  • 電動 motorized XYステージ搭載：設定した測定ポイント（グリッド/円周等）へ自動移動。
  • 全自動ルーチン測定（ワンクリック機能）：滴下・移動・撮像・画像解析・データ保存を完全自動化。
  • 面内接触角マッピング機能：サンプル表面全体の濡れ性分布（マッピング）を自動出力。
  • ハイスループット検品・品質管理：インライン検査や大量サンプルのルーチン分析の工数を劇的に削減。

▶
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詳細説明

SURFTENS automaticは、サンプル上の複数ポイント自動測定を実現したハイエンドモデルです。直感的なレシピ作成ソフトウェアにより、事前に定義した座標にステージが順次移動し、滴下から接触角計算・レポート出力までを人手なしで完結します。面内の品質均一性評価やライン検査に最適です。

技術仕様（スペック）

測定項目 静的/動的接触角、面内分布マッピング、自動表面自由エネルギー（SFE）
測定精度 接触角: ±0.1° / 滴下分解能: 0.01 µL
電動ステージ仕様 電動XY軸（ストローク: 100 x 100 mm / 位置決め精度: ±5 µm）
ドージングシステム 完全自動ソフトウェアコントロール・電動ディスペンサー
自動化機能 パターン測定、自動合焦（オプション）、自動マッピング作成
外形寸法・重量 約 550 × 280 × 350 mm / 約 11.5 kg

標準構成品・付属ソフトウェア

  • SURFTENS automatic 本体（電動XYステージ内蔵）
  • プログラム自動制御用モータライズド・ドージングユニット
  • SURFTENS Auto-Mapping 専用ソフトウェア（レシピ作成・マップ描画機能付）
  • 校正用キャリブレーション・グリッド

大型試料・ウェハ専用システム

大型・ウェハ対応モデル

SURFTENS HL

最大200mm（8インチ）ウェハ・大型基板に対応。手動操作で再現性の高い接触角測定を実現

【システム構成バリエーション】

SURFTENS HL 手動基本構成

SURFTENS HL 手動基本構成

電動ドージング搭載仕様

電動ドージング搭載仕様

解析ソフトウェア画面

解析ソフトウェア画面

測定精度の検証

測定精度の検証

【製品実演・操作動画】


SURFTENS HL 操作デモ動画

主な特長

  • 大型回転・直線ステージ（R-Theta / XY）：8インチ（200mm）ウェハ全体の任意の測定ポイントへ素早くアクセス。
  • 高精度手動・電動ドージング：再現性の高い滴下コントロールにより、精密な接触角解析をサポート。
  • 非破壊測定設計：ウェハ表面を傷つけず、クリーンルーム内での取り扱いに配慮した構造。
  • 多点測定ワークフロー：複数ポイントの濡れ性・表面自由エネルギー（SFE）効率評価に最適。

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詳細説明

SURFTENS HLは、半導体ウェハや大型ガラス基板、フラットパネルディスプレイ（FPD）用基板の濡れ性評価に特化した大型接触角測定装置です。大口径サンプルをカットすることなくそのまま設置でき、面内の均一性評価やプロセス開発において高い威力を発揮します。

技術仕様（スペック）

対応サンプルサイズ 最大 200 mm（8インチ）ウェハ / 大型角型基板（200 × 200 mm）
ステージ移動機構 R-Theta（回転＋半径方向移動）または 高精度XYステージ
測定項目 静的接触角、動的接触角（オプション）、表面自由エネルギー（SFE）
測定範囲 / 精度 0° ～ 180° / 精度: ±0.1°
光学・カメラシステム USB 3.0 高解像度CMOSカメラ、LED可変バックライト照明

標準構成品・付属ソフトウェア

  • SURFTENS HL 本体（200mm対応ステージ・光学ユニット付）
  • 精密ドージングシリンジユニット
  • SURFTENS 測定・解析ソフトウェア
  • 校正用標準キャリブレーションプレート

300mm全自動モデル

SURFTENS HL automatic

最大300mm（12インチ）ウェハ対応。滴下・移動・解析まで全自動化したハイエンド接触角測定装置

【製品外観・システム構成】


SURFTENS HL automatic 全体構成

SURFTENS HL automatic 本体・解析ワークステーション


自動マッピング・測定処理

300mmウェハ全自動測定・マッピング解析画面

【製品実演・操作動画】

全自動測定シーケンス・動作デモ動画

主な特長

  • 完全自動化された接触角測定：サンプルの移動、液滴の自動供給・着地、画像取り込み、解析までワンクリックで自動実行。
  • 最大300mm（12インチ）対応：大型シリコンウェハや各種基板の全領域を網羅する自動マッピング機能を搭載。
  • 高精度電動ドージングシステム：超微小量から任意の液滴ボリュームまで、極めて高い再現性で自動コントロール。
  • プロセス管理・品質管理に最適：ウェハコーティングやフォトリソグラフィー工程における表面エネルギー・濡れ性の全自動評価。

▶
詳細スペック・仕様を見る（クリックで展開）

詳細説明

SURFTENS HL automaticは、半導体産業および研究開発向けに開発された全自動接触角測定装置です。最大300mm（12インチ）までのシリコンウェハや大型基板に対応し、人による操作誤差を排除した再現性の高い全自動計測を実現します。

技術仕様（スペック）

対応サンプルサイズ 最大 300 mm（12インチ）ウェハ / 大型角型基板（300 × 300 mm）
ステージ移動機構 全自動電動 R-Theta（回転＋半径方向移動）ステージ
ドージングユニット 全自動電動直接分注システム（ソフト制御滴下）
測定項目 静的接触角、動的接触角（オプション）、表面自由エネルギー（SFE）、全自動マッピング解析
測定範囲 / 精度 0° ～ 180° / 精度: ±0.1°
光学・カメラシステム USB 3.0 高解像度CMOSカメラ、LED可変バックライト照明

標準構成品・付属ソフトウェア

  • SURFTENS HL automatic 本体（300mm全自動ステージ・光学ユニット付）
  • 全自動電動ドージングユニット
  • SURFTENS 測定・全自動解析ソフトウェア（マッピング機能対応）
  • 専用PC・解析ワークステーション
  • 校正用標準キャリブレーションプレート

半導体専用・完全全自動モデル

SURFTENS WH 300

300mm（12インチ）シリコンウェハ専用。自動搬送（FOUP対応）から全自動液滴輪郭解析・マッピング・EBR検査までを1台に統合した最高峰フラッグシップモデル

【製品外観・システム構成】

SURFTENS WH 300 全体構成

SURFTENS WH 300 システム全景

ウェハ自動搬送ロボット・FOUPロードポート

高精度液滴生成・分注部

自動測定・マッピング解析画面

自動分注ディスペンサー・測定ヘッド

【製品実演・操作動画】

SURFTENS WH 300 全自動測定・搬送動作実演動画（英語版）

※本動画の日本語訳・音声はAIによって生成されています。

主な特長

  • 完全自動搬送＆アライメント：200/300mm FOUPからの自動ロボット搬送、位置決め精度 ±50µm の自動センタリング＆ノッチング機能を搭載。
  • クリーンルーム全自動レシピ運転：SECS/GEM通信規格に対応し、工場オンライン制御による全自動マッピング測定・データ回収を実現。
  • 高精度自動滴下・輪郭解析：1〜5µL（精度 ±0.2µL）の微小液滴を自動制御。測定精度 ±0.5° の高信頼な液滴解析を実施。
  • EBR検査・加熱オプション対応：接触角測定に加え、ウェハ外周部のEBR（エッジビード除去）測定モジュールや最高80℃の加熱蒸発処理に対応。

▶
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詳細説明

SURFTENS WH 300は、半導体量産ラインおよび先端フォトリソグラフィ工程向けに開発された全自動接触角・表面解析システムです。レジストや現像液の密着性評価・表面張力測定を完全自動化し、ヒューマンエラーを排除した超高精度な品質管理を提供します。

技術仕様（スペック）

対応サンプルサイズ 300 mm (12インチ) シリコンウェハ（オプションにて 200 mm ブリッジ対応）
搬送・位置決め機構 3軸ウェハ搬送ロボット（FOUP対応）＋ 自動アライメント（位置決め精度 ±50 µm）
ドージングユニット 全自動精密ディスペンサー（1〜5 µL 設定可能 / 精度 ±0.2 µL / 400mL自動補充）
測定範囲 / 精度 10° ～ 170° / 精度: ±0.5°
通信・通信規格 SECS / GEM インターフェース（オンライン自動制御対応）
拡張機能（オプション） EBR（エッジビード除去）測定モジュール、加熱プレート（最高80℃）

標準構成品・付属ソフトウェア

  • SURFTENS WH 300 本体（300mm全自動搬送ロボット・FOUPロードポート一体型）
  • 高精度自動分注・光学カメラシステム
  • SURFTENS 300 Special Suite（レシピ運転・マッピング解析・SECS/GEM対応）
  • 産業用ワークステーションPC
  • 校正用標準キャリブレーションプレート

画像処理ソフト・拡張オプション

キャリブレーション・精度維持

接触角標準（Standard）

接触角測定装置の定期的な点検・キャリブレーションおよび精度検証に使用する高精度標準器です。

【製品外観・キャリブレーションプレート】

接触角標準 外観

接触角標準キャリブレーションプレート

高精度パターン拡大

高精度ドット・角度パターン詳細

主な特長

  • 高精度高耐久キャリブレーション：正確な描画技術により、経年変化の少ない安定した基準値を提供。
  • 複数角度パターンを収録：装置の倍率校正および歪み補正に最適なマルチグラフィックパターン。
  • 定期点検・トレーサビリティ対応：日常的な精度チェックや品質管理のトレーサビリティ確立に必須。

▶
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詳細説明

SURFTENSシリーズ共通で使用可能な校正用標準器です。光学レンズの倍率校正や画像解析アルゴリズムの検証を正しく行い、測定値の信頼性を維持するために使用されます。

技術仕様（スペック）

基板材質 高精度ガラス基板 / クロムパターン
用途 光学系の倍率校正、歪み校正、接触角解析アルゴリズム検証
対応機種 SURFTENS Basic / Universal / automatic / HL / WH300 全機種共通

画像処理・解析ソフト

SURFTENS ソフトウェア

リアルタイム画像解析と高度なアルゴリズムを搭載。静的・動的接触角測定から表面自由エネルギー（SFE）の全自動算出まで対応する専用ソフトウェア

【ソフトウェア操作・解析画面】


SURFTENS 測定解析メイン画面

SURFTENS 測定解析システム構成


SFE解析・マッピング機能

動的接触角・傾斜測定システム構成例

主な特長

  • 高速・高精度輪郭解析：最先端のフィッティングアルゴリズムにより、左右それぞれの接触角および平均値を瞬時に算出。
  • 多様なSFE計算モデル対応：OWRK（Owens-Wendt-Rabel-Kaelble）、Wu、van Oss-Chaudhury-Good等の各種理論式を網羅。
  • ビデオキャプチャ＆動的接触角解析：前進角・後退角（ヒステリシス）や、時間経過に伴う濡れ性の変化（動的観察）を記録・解析可能。
  • データ出力・レポート自動生成：測定結果・グラフ・画像データをExcel、PDF等へスムーズに自動生成・統合。

▶
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詳細説明

SURFTENS ソフトウェアは、あらゆるSURFTENSシリーズのハードウェア性能を最大限に引き出すWindows標準対応の画像解析ソフトウェアです。直感的なユーザーインターフェースにより、ワンクリックで基準線の自動検出から接触角・表面自由エネルギーの解析まで完了します。

技術仕様（対応機能）

解析アルゴリズム 楕円フィッティング、円フィッティング、多項式フィッティング、ヤング・ラプラス法
SFE（表面エネルギー）モデル Owens-Wendt-Rabel-Kaelble (OWRK), Wu, Zisman, van Oss-Chaudhury-Good (酸・塩基説)
測定モード 静的接触角、動的接触角（前進/後退角）、懸垂滴法による表面張力解析（オプション）
動作環境 Windows 10 / 11（64bit）対応、USB 3.0 インターフェース

表面張力・界面張力モジュール

SURFTENS PD

懸垂滴法（Pendant Drop Method）による液体の表面張力および界面張力の高精度測定オプション

【製品外観・懸垂滴解析イメージ】


SURFTENS PD 測定モジュール

SURFTENS PD 懸垂滴測定モジュール


懸垂滴輪郭解析画面

ヤング・ラプラス法による懸垂滴輪郭解析画面

主な特長

  • 懸垂滴法（Pendant Drop）対応：針先から吊り下げられた液滴形状から表面張力・界面張力を高精度計算。
  • ヤング・ラプラス方程式フィッティング：重力と表面張力の平衡状態を数学的モデルで正確に近似。
  • 界面張力・経時変化の評価：2液相間の液液界面張力や、界面活性剤による表面張力の時間変化測定に最適。
  • SURFTENS各シリーズへ追加可能：既存の装置環境にモジュールを追加拡張して測定範囲を拡大。

▶
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詳細説明

SURFTENS PDは、固体の濡れ性評価だけでなく、液体そのものの物性値（表面張力・界面張力）を測定するための専用拡張モジュールです。高精度なシリンジコントロールと画像解析アルゴリズムにより、再現性の高い測定結果を提供します。

技術仕様（スペック）

測定手法 懸垂滴法（Pendant Drop Method）
測定項目 液体の表面張力（mN/m）、液-液 界面張力（mN/m）
解析アルゴリズム ヤング・ラプラス（Young-Laplace）方程式フィッティング
対応機種 SURFTENS Universal / automatic / HL / WH300 各シリーズ

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