走査型スリットビームプロファイラ DataRay

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DataRay社のBeamMapとBeam'Rで
高精度なビームプロファイリングを実現

DataRay社はM²、ダイバージェンス、フォーカス、アライメントをリアルタイムで管理できる特許取得済みのBeamMapシリーズと、低価格でコンパクト、かつ高精度なビームプロファイリングを実現するBeam’Rシリーズの2種類のスキャンスリットビームプロファイラを製造しています。
全てのビームプロファイラにSi、Ge、InGaAs検出器を搭載し、190nm~2500nmの波長をカバーすることが可能です。

Beam‘R2
BeamMap2
BeamMap2 Collimate

Beam‘R2

  • ― 手頃な価格の一方向ビームプロファイリング
  • ― 最小2μmのビームを直接プロファイル

手頃な価格の小型ビーム用スキャニングスリットビームプロファイラ
Beam’R2は、多くのレーザービームプロファイリングアプリケーションに適しています。標準的な2.5μmスリットと大型のナイフエッジスリットの両方を備えており、直径2μmのビームを測定することができます。シリコンとInGaAsまたは拡張InGaAsの両方のオプションにより、Beam‘R2は190nm~2500nmのビームをプロファイルできます。
スキャンスリット機器は、カメラベースのシステムよりもはるかに高い解像度を実現します。

 

  特徴

  • 190~2500nmをカバーする複数の検出器オプション
    – シリコン検出器:190~1150nm
    – InGaAs検出器:650~1800nm
    – InGaAs(拡張)検出器:1800~2300/2500nm
  • ISO準拠のビーム径測定
  • ポートパワーUSB 2.0
  • オートゲイン機能
  • ポートパワーUSB 3.0
  • ISO 11146準拠のM²測定用ステージアクセサリー(オプション)
  • True2D™スリット
  • 解像度:0.1μm
  • 更新レート:5Hz(2~10Hzで調整可能)
  • CW/準CWビームプロファイル
  • ビーム径:5μm~4mm、ナイフエッジモード時2μm

 

  アプリケーション

  • 超小型レーザービームのプロファイリング
  • 光学アセンブリと機器のアライメント
  • OEM組み込み
  • レンズ焦点距離テスト
  • 焦点合わせとアライメントエラーのリアルタイム診断
  • 複数のアセンブリを同じ焦点にリアルタイムで設定
  • M2DUステージを用いたM²の測定

 

  True2D™ スリット

  • サファイア基板上に0.4μm厚の金属多層膜を形成
  • エアスリットに比べて多くの利点
  • トンネル効果の回避
  • エアスリットは一般的に幅よりも奥行きが深く、高照度下で座屈する可能性あり

Beam’R2


仕様、図面、各種資料、ファームウェアのダウンロードサイトはこちら ⇒

※ 最低動作環境:Windows10(64ビット)


BeamMap2

  • ― 堅牢な多方向ビームプロファイリング
  • ― リアルタイムM²、発散、ポインティング、焦点測定

M² のリアルタイム焦点検出
BeamMap2は、リアルタイムのビームプロファイリングにおいて根本的に異なるアプローチを採用しています。Beam’R2の測定機能を拡張し、ビームの移動に沿った複数の位置での測定を可能にします。このリアルタイムスキャニングスリットシステムは、回転パック上の複数のZ平面でXYスリットペアを使用し、4つの異なるZ位置で同時に4つのビームプロファイルを測定します。
BeamMap2のユニークな設計は、焦点位置、M²、ビーム発散、ポインティングのリアルタイム測定に最も有利です。

 

  特徴

  • 190~2500nmをカバーする複数の検出器オプション
    – シリコン検出器:190~1150nm
    – InGaAs検出器:650~1800nm
    – InGaAs(拡張)検出器:1800~2300/2500nm
  • ISO準拠のビーム径測定
  • ポートパワーUSB 2.0
  • オートゲイン機能
  • ISO 11146準拠のM²測定用ステージアクセサリー(オプション)
  • True2D™スリット
  • 解像度:0.1μm
  • 更新レート:5Hz(2~10Hzで調整可能)
  • CW/準CWビームプロファイル
  • ビーム径:5μm~4mm
  • マルチZ平面スキャン
  • XYZプロファイルおよびθ-Φ
  • 焦点位置と焦点径
  • リアルタイムM²、ポインティング、発散測定
  • ±1μmの再現性で焦点を特定(ビームに依存)

 

  アプリケーション

  • 超小型レーザービームのプロファイリング
  • 光学アセンブリと機器のアライメント
  • OEM組み込み
  • レンズ焦点距離テスト
  • 焦点合わせとアライメントエラーのリアルタイム診断
  • 複数のアセンブリを同じ焦点にリアルタイムで設定
  • M2DUステージを用いたM²の測定

 

  True2D™ スリット

  • サファイア基板上に0.4μm厚の金属多層膜を形成
  • エアスリットに比べて多くの利点
  • トンネル効果の回避
  • エアスリットは一般的に幅よりも奥行きが深く、高照度下で座屈する可能性あり

BeamMap2


仕様、図面、各種資料、ファームウェアのダウンロードサイトはこちら ⇒

※ 最低動作環境:Windows10(64ビット)


BeamMap2 Collimate

  • ― 高平行ビーム用の多方向ビームプロファイリング
  • ― リアルタイムM²、発散、ポインティング、焦点測定

M² のリアルタイム焦点検出で高度に収束されたビームを実現
BeamMap2は、リアルタイムのビームプロファイリングにおいて根本的に異なるアプローチを採用しています。Beam’R2の測定機能を拡張し、ビームの移動に沿った複数の位置での測定を可能にします。このリアルタイムスキャニングスリットシステムは、回転パック上の複数のZ平面でXYスリットペアを使用し、4つの異なるZ位置で同時に4つのビームプロファイルを測定します。BeamMap2のユニークな設計は、焦点位置、M²、ビーム発散、ポインティングのリアルタイム測定に最も有利です。
BeamMap2 Collimateは、標準のBeamMap2に比べ、高度に収束した状態でビームを使用できるよう、面間隔を5mmと大幅に広げて特別に設計されています。

 

  特徴

  • 190~2500nmをカバーする複数の検出器オプション
    – シリコン検出器:190~1150nm
    – InGaAs検出器:650~1800nm
    – InGaAs(拡張)検出器:1800~2300/2500nm
  • ISO準拠のビーム径測定
  • ポートパワーUSB 2.0
  • オートゲイン機能
  • ISO 11146準拠のM²測定用ステージアクセサリー(オプション)
  • True2D™スリット
  • 解像度:0.1μm
  • 更新レート:5Hz(2~10Hzで調整可能)
  • CW/準CWビームプロファイル
  • ビーム径:5μm~4mm
  • マルチZ平面スキャン
  • XYZプロファイルおよびθ-Φ
  • 焦点位置と焦点径
  • リアルタイムM²、ポインティング、発散測定
  • ±1μmの再現性で焦点を特定(ビームに依存)

 

  アプリケーション

  • 超小型レーザービームのプロファイリング
  • 光学アセンブリと機器のアライメント
  • OEM組み込み
  • レンズ焦点距離テスト
  • 焦点合わせとアライメントエラーのリアルタイム診断
  • 複数のアセンブリを同じ焦点にリアルタイムで設定
  • M2DUステージを用いたM²の測定

 

  True2D™ スリット

  • サファイア基板上に0.4μm厚の金属多層膜を形成
  • エアスリットに比べて多くの利点
  • トンネル効果の回避
  • エアスリットは一般的に幅よりも奥行きが深く、高照度下で座屈する可能性あり

BeamMap2 Collimate


仕様、図面、各種資料、ファームウェアのダウンロードサイトはこちら ⇒

※ 最低動作環境:Windows10(64ビット)


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