Scanner Optics社は標準のレーザー走査型ガルバノメーター製品の開発に加えて、
専門的なレーザーガルバノメーターシステムスキャンソリューションも提供しています。
ガルバノスキャナーとは、1個以上のミラーを使用してレーザー光を操作する仕組みの事です。
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スキャンヘッド Scanner Optics
2軸スキャンヘッド
| < ウルトラスキャン> 低ノイズ、高直線性、低ドリフト。 |
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| < エクストラスキャン> 23ビット解像度により、優れた位置決め精度と繰り返し位置精度を実現します。 |
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| <ユニスキャン> DAボードとドライブボードを一体化。 |
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UltraScanⅠ
| UltraScanⅠ | UltraScanⅠ 14 | UltraScan Ⅰ 20 | UltraScanⅠ 30 | UltraScanⅠ 50 |
| 入力ビーム径(mm) | 14 | 20 | 30 | 50 |
| ビーム変位(mm) | 16.42 | 25.25 | 35.61 | 62.25 |
| トラッキングエラー(ms) | 0.23 | 0.45 | 0.70 | 1 |
| 繰り返し性(μrad) | <2 | <2 | <2 | <2 |
| オフセットドリフト(μrad/K) | <15 | <15 | <15 | <15 |
| ゲインドリフト(ppm/K) | <80 | <80 | <80 | <80 |
| 長期ドリフト (mrad, 8時間以上) |
<0.3 | <0.3 | <0.3 | <0.3 |
| 1%フルスケール(ms) | 0.65 | 0.80 | 1.20 | 1.50 |
| 10%フルスケール(ms) | 1.60 | 2.50 | 4.50 | 6.50 |
| ポジショニングスピード(m/s) | 10 | 5 | 3 | 1 |
| 標準スキャン角度(°) | ±25 | ±25 | ±25 | ±25 |
| ゲインエラー(mrad) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| ゼロオフセット(mrad) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| 非線形性(%) | <0.4 | <0.4 | <0.4 | <0.4 |
| 電源 | ±15VDC, ≧3A | ±15VDC, ≧3A | ±15VDC, ≧3A | ±15VDC, ≧3A |
| コミュニケーションプロトコル | 16bit: XY2-100 20bit: ST2-100 |
16bit: XY2-100 20bit: ST2-100 |
16bit: XY2-100 20bit: ST2-100 |
16bit: XY2-100 20bit: ST2-100 |
| 操作温度(℃) | 25±10 | 25±10 | 25±10 | 25±10 |
| 重さ(kg) | 2.3 | 5 | 5.2 | 8.8 |
UltraScanⅡ
| UltraScanⅡ | UltraScanⅡ 7 | UltraScanⅡ 10 | UltraScanⅡ 14 | UltraScanⅡ 20 | UltraScanⅡ 30 |
| 入力ビーム径(mm) | 7 | 10 | 14 | 20 | 30 |
| ビーム変位(mm) | 9.77 | 12.54 | 16.42 | 25.25 | 35.53 |
| トラッキングエラー(ms) | 0.15 | 0.12 | 0.15 | 0.35 | 0.6 |
| 繰り返し性(μrad) | <2 | <2 | <2 | <2 | <2 |
| オフセットドリフト(μrad/K) | <20 | <12 | <12 | <12 | <12 |
| ゲインドリフト(ppm/K) | <100 | <50 | <50 | <50 | <50 |
| 長期ドリフト (mrad, 8時間以上) |
<0.4 | <0.15 | <0.15 | <0.15 | <0.15 |
| 1%フルスケール(ms) | 0.22 | 0.30 | 0.35 | 0.70 | 1.10 |
| 10%フルスケール(ms) | 0.80 | 0.80 | 0.90 | 2.40 | 4.40 |
| ポジショニングスピード(m/s) | 25 | 18 | 14 | 6 | 4 |
| 標準スキャン角度(°) | ±25 | ±25 | ±25 | ±25 | ±25 |
| ゲインエラー(mrad) | <5 | <5 | <5 | <5 | <5 |
| ゼロオフセット(mrad) | <5 | <5 | <5 | <5 | <5 |
| 非線形性(%) | <0.4 | <0.4 | <0.4 | <0.4 | <0.4 |
| 電源 | ±15VDC, ≧3A | ±15VDC, ≧3A | ±15VDC, ≧3A | ±15VDC, ≧3A | ±15VDC, ≧3A |
| コミュニケーションプロトコル | XY2-100 | XY2-100 | XY2-100 | XY2-100 | XY2-100 |
| 操作温度(℃) | 25±10 | 25±10 | 25±10 | 25±10 | 25±10 |
| 重さ(kg) | 2.3 | 5 | 5.2 | 8.8 | 10.8 |
ExtraScanⅠ
| ExtraScanⅠ | ExtraScanⅠ 10 | ExtraScanⅠ 14 | ExtraScanⅠ 20 | ExtraScanⅠ 30 |
| 入力ビーム径(mm) | 10 | 14 | 20 | 30 |
| ビーム変位(mm) | 12.54 | 16.42 | 25.25 | 35.53 |
| トラッキングエラー(ms) | 0.3 | 0.4 | 0.65 | 1.2 |
| 繰り返し性(μrad) | <1 | <1 | <1 | <1 |
| オフセットドリフト(μrad/K) | <15 | <15 | <15 | <15 |
| ゲインドリフト(ppm/K) | <8 | <8 | <8 | <8 |
| 長期ドリフト (mrad, 8時間以上) |
<0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| 1%フルスケール(ms) | 0.55 | 0.85 | 1.00 | 1.50 |
| 10%フルスケール(ms) | 1.40 | 1.80 | 3.00 | 5.00 |
| ポジショニングスピード(m/s) | 7 | 5 | 3 | 2 |
| 標準スキャン角度(°) | ±25 | ±25 | ±25 | ±25 |
| ゲインエラー(mrad) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| ゼロオフセット(mrad) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| 非線形性(%) | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| 電源 | ±15VDC, ≧3A | ±15VDC, ≧3A | ±15VDC, ≧3A | ±15VDC, ≧3A |
| コミュニケーションプロトコル | 16bit: XY2-100 20bit: ST2-100 |
16bit: XY2-100 20bit: ST2-100 |
16bit: XY2-100 20bit: ST2-100 |
16bit: XY2-100 20bit: ST2-100 |
| 操作温度(℃) | 25±10 | 25±10 | 25±10 | 25±10 |
| 重さ(kg) | 1.9 | 2.3 | 5 | 5.2 |
ExtraScanⅡ
| Enough10 | パラメーター |
| 入力ビーム径(mm) | 10 |
| ビーム変位(mm) | 12.54 |
| トラッキングエラー(ms) | 0.2 |
| 繰り返し性(μrad) | <30 |
| オフセットドリフト(μrad/K) | <30 |
| ゲインドリフト(ppm/K) | <110 |
| 長期ドリフト (mrad, 8時間以上) |
<0.50 |
| 1%フルスケール(ms) | 0.50 |
| 10%フルスケール(ms) | 1.30 |
| ポジショニングスピード(m/s) | 9 |
| 標準スキャン角度(°) | ±12.5 |
| ゲインエラー(mrad) | <10 |
| ゼロオフセット(mrad) | <10 |
| 非線形性(%) | <1 |
| 電源 | ±15VDC, ≧3A |
| コミュニケーションプロトコル | XY2-100 |
| 操作温度(℃) | 25±10 |
| 重さ(kg) | 1.9 |
3軸スキャンヘッド
| < 3D大面積ダイナミックフォーカスシステム> ガルバノスキャンシステムとボイスコイルモーターの組合せで、3D曲面や大型サイズを実現。 |
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| < ハイスピード3D&2.5Dスキャニングシステム > 14mm2次元ガルバノメーターとVCM-Z反射Z軸集光システムにより、高速3次元処理を実現。 |
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3D大面積ダイナミックフォーカスシステム
| CO2 | IR | UV | |
| スキャン角度(°) | ±11 | ±11 | ±11 |
| システム修正順応精度 | ≤0.1mm (フィールドサイズ≤800x800mm) |
≤0.1mm (フィールドサイズ≤800x800mm) |
≤0.1mm (フィールドサイズ≤800x800mm) |
| 繰り返し性(urad) | 2 | 2 | 5 |
| 最大ゲインドリフト (ppm/k) |
80 | 80 | 8 |
| 最大オフセットドリフト (uRad/k) |
15 | 15 | 15 |
| 長期ドリフト (mrad, 8時間以上) |
≤0.3 | ≤0.3 | ≤0.1 |
| トラッキングエラー(ms) | ≤0.70 | ≤0.30/≤0.45/≤0.7 | ≤0.45 |
| 波長(nm) | 10,600 | 1064 | 355 |
| 入射スポット径(mm) | 15 | 7/10 | 6 |
| 開口サイズ(mm) | 30 | 14/20/30 | 20 |
| 最大レーザーパワー CW(w/cm2) |
1000 | 1500 | 300 |
ハイスピード3D&2.5Dスキャニングシステム
| 項目 | 単位 | パラメーター | |||
| 電源 | 入力電圧 | vac | 170~264 | ||
| 出力電圧 | vdc | ±15 | |||
| 電流 | a | 10 | |||
| 操作ボード | 入力インターフェース | XY-200 | |||
| 出力インターフェース | イーサネットポート | ||||
| レーザータイプ | UV, IR, Green | ||||
| 環境 | 周辺温度 | ℃ | 0~ +40 | ||
| 保管温度 | ℃ | -10~ +60 | |||
| 湿度 | ≤75% 結露無し | ||||
| 偏光ユニット仕様 | スキャン角度 | ° | ±11.5 | ||
| 繰り返し性 | urad | 5 | |||
| 最大ゲインドリフト | ppm/K | 12 | |||
| 最大オフセットドリフト | urad/K | 30 | |||
| 長期ドリフト(8時間以上) | mrad | 0.3 | |||
| 最大処理速度 | s | 650 | |||
| スモールステップ応答 | ms | ≤0.18 | |||
| ダイナミックズームスステム | スモールステップ応答 | ms | ≤1.6 | ||
| 光学仕様 | レーザー | UVレーザー | YAG/ファイバー | グリーン | |
| 波長 | nm | 355 | 1064 | 532 | |
| コーティング | ARフィルム | ||||
| 開口サイズ | mm | φ14 | |||
| システム入力レーザービーム | mm | 9 | 7 | 3.5 | |
| 構造仕様 | 重さ | kg | 8 | ||
| 寸法(長さx幅x高さ) | mm | 324x140x181.5 | |||
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Z軸スキャンヘッド
異なる波長とスポット径のレーザーに対応し、異なるクリアアパーチャーのZ軸レンズを柔軟に構成することが可能です。
VCM F1
| VCM F1 | |
| 入力ビーム径(mm) | 20 |
| 出力ビーム径(mm) | 40 |
| ストローク(mm) | 20 |
| トラッキングエラー(ms) | 0.7 |
| 標準速度(mm/s) | ≤180 |
| 繰り返し性(μm) | <0.5 |
| 非直線性(%) | 0.05 |
| 長期ドリフト(μm, 8時間以上) | <3 |
| 電源 | ±15VDC, ≥3A |
| デジタルインターフェース | XY-100 |
| 操作温度(℃) | 25±10 |
VCM G2
| VCM G2 | |
| 入力ビーム径(mm) | ≤22 |
| 出力ビーム径(mm) | |
| ストローク(mm) | 9 |
| トラッキングエラー(ms) | 1.5(≤16mmレンズ径) 2.2(18~22mmレンズ径) |
| 標準スピード(mm/s) | ≤100 |
| 焦点スピード(m/s) | / |
| 繰り返し性(μm) | <1 |
| 非直線性(%) | 2 |
| 長期ドリフト (μm, 8時間以上) |
<10 |
| 電源 | ±15VDC, ≥3A |
| デジタルインターフェース | XY2-100 |
| 操作温度(℃) | 25±10 |
VCM Z
| VCM Z | |
| 入力ビーム径(mm) | 14 |
| 出力ビーム径(mm) | 14 |
| ストローク(mm) | ±15(焦点範囲) |
| トラッキングエラー(ms) | ≥0.15 |
| 焦点スピード(m/s) | 20m/sまで(f=160mm) |
| 繰り返し性(μm) | <1 |
| 非直線性(%) | 0.4 |
| 長期ドリフト (μm, 8時間以上) |
<6 |
| 電源 | ±15VDC, ≥3A |
| デジタルインターフェース | XY2-100 |
| 操作温度(℃) | 25±10 |
