OEG
非接触　自動光学測定･試験装置

FLMは0.1mmから6mmの範囲で、精度1μmで焦点距離を測定します。

1.　ワークベンチ
　　コンピューター、モニター、キーボード用のテーブル
　　FLMデバイス用
　　FLM用ハウジング

2.　機器
　　垂直セットアップのためのスタンド
　　測定コリメーター　f = 60mm
　　　カメラ付きテレスコープ
　　　分解能　0.1秒
　　　精度　　1秒
　　テレスコープ用　Z軸ステッパーモーター
　　　50mmストローク
　　　分解能　0.1μm
　　　精度　　±1μm
　　コントローラー、電源付きコリメーターのLED照明
　　　グリーン　(オプションでホワイト)
　　試料　位置決めのためのx/y ステージ
　　試料ホルダー
　　測定対物レンズ
　　　LD マイクロスコープ　対物 5x
　　　LD マイクロスコープ　対物 20x

3.　アタッチメント
　　出荷時の最新技術のモニターとコンピューター
　　　Windows 動作システム
　　　ハードウエアとソフトウエアをインストール
　　ジョイスティック付きステッパーモーター　コントローラー
　　ケーブル　セット
　　OTS ソフトウエア用 設定CD
　　ドングル
　　CD ソフトウエア　マニュアル

4.　ソフトウエア　(英語)
　　高精度なデータ収集と評価のための、統合画像処理システムを備えた計測ソフトウエア
　　PCモニター上の測定信号リアルタイム表示
　　ステッピング　モーター　コントローラー　統合インターフェイス
　　全ての測定機能はソフトウエア制御
　　自由に構成可能な測定プロトコル作成
　　　測定値をASCIIファイルとXLSファイルとして保存

5.　その他の機構
　　全ての測定機能はオートフォーカスで動作
　　ジョイスティックを使い手動制御と測定が可能