MR200 精密マイクロダイアモンドスクライバー
精密マイクロダイアモンドスクライバーMR200による正確な手動スクライビングにより、構造化されたシリコンウェハーを正確に切断できます。
MR200のセットアップと装置により、構造化されたシリコンウェハーを高精度にスクライビング（切断）することができます。MR200は、特に半導体技術におけるREM作製に不可欠なツールです。実験室での使用など、少数のチップの切断にも適しています。
機械的な基本セットアップにより、スクライビングパラメータの調整には多くのオプションが用意されています。高品質のズーム光学系により、倍率を8倍から40倍まで無段階に調整できます。 光学系と機構は、効率と操作の快適性を高める補助モジュールで拡張できます。このようなモジュールには例えば、カメラシステム、画像処理システム、テーブル移動測定用デジタルゲージなどがあります。
MR200オプション
高品質ズーム顕微鏡により、試料表面の全体像と詳細な表示を無段階に切り替えることができます。X/Yステージの微調整により、試料を高精度に位置決めします。
スクライビングダイアモンドのセットオフポイントを調整することができます。接眼レンズのハイクロスがセットオフポイントを示します。
ビデオシステムもオプションでご用意しています。パソコンのモニターでウェハーを観察することができます。
▲テーブル位置測定用デジタルゲージ 測定範囲100mm
▲テーブル位置測定用デジタルゲージ スタンダード 測定範囲200mm
▲ダイアモンドをスクライビングするための調整可能な動作角度
技術パラメータ
MR200 データシート
▶ 製品詳細はこちら
・押し出し材によって構成された基本フレーム
・装置サイズ：約400×800×600mm（W×D×H）
・重量：約20Kg
・電磁的スクライブ (高パワー空圧スクライブはお問い合わせください）
・フットスイッチによるスクライビングダイアモンド制御（下降、上昇）
・調整可能なスクライビング出力（10g～120g、その他はお問い合わせください）
・スクライビング溝幅：約5μm～10μm (スクライビング出力と材質による)調整可能な下降速度
・スクライビングダイアモンドの高さ調整可能
・スクライビングダイアモンドの動作角度の調整可能
・真空によるスクライビング粒子の除去
・8倍～40倍の範囲で倍率を無段階調整できる高品質のズーム顕微鏡
・エッジ、構造、基準マークなどに合わせてスクライビングラインを正確に調整するためのヘアクロス接眼レンズ
・光学系の分解能：倍率10倍で10μm以上
・X/Yステージに搭載された直径200mmのテフロンコーティング付き真空ウェハーチャック (ご希望により100mm)
・マイクロメーターネジによるウェハーチャックの角度微調整 (10μm分解能＝0.006°)
・真空を遮断することなく、チャックを正確に 90°回転可能
・調整可能なチャックの 90°回転用インデックス
・スクライビング移動および粗位置決め用のストローク200×200mmの手動X/Yステージ
・25mmマイクロメーターネジにより、スクライビング方向と交差する方向の微調整が可能
・10mmマイクロメーターネジにより、スクライビング方向の精密な位置決めが可能
・調光可能な電源付きLEDリングライト
・最小試料サイズ： 約10×10mm
・ウェハー厚さ：Siウェハーの標準的な厚み
・ウェハー材質：シリコン、GaAs（その他の材質はお問い合わせください。）
・ビデオシステム（画像処理ソフトも付属）をオプションとして使用可能
光学系
高品質のズーム光学系により、倍率を8倍から40倍まで無段階に調整できます。また、多くのアタッチメントがございます。
アタッチメントのオプション
1. デジタルゲージ
100mmまたは200mmウェハーテーブルをスクライビング方向に対して高精度に位置決めすることができます。正確なグリッドのスクライビングが可能です。
2. カメラオプション用アップグレードキット
CCDカメラ用のアップグレードキットは、顕微鏡の構成部品で構成されています。さらに、カメラ本体と画像処理機能を備えたモニターまたはPCが必要です。お客様は独自のソリューションを選択することも、OEGが提供するカメラとソフトウェア付きPCを使用することもできます。
3. カラービデオシステム
このオプションは、解像度1.3メガピクセルのカラーカメラ、オールインワンコンピュータ、画像処理ソフトウェアで構成されています。このソフトウェアにより、コンピュータ画面上にカメラ画像を表示することができます。ビデオ画像は保存することができます。下記の写真は光学系の異なる倍率を示しており、接眼レンズでは 8 倍、16 倍、32 倍、40 倍として表示されます。
4. 線幅測定
この拡張画像処理ソフトウェアにより、サブピクセル解像度での高精度な線幅測定も可能になります。
正確なスクライビング、簡単な操作
基板をチャックにセットした後、顕微鏡の焦点をウェハー表面に合わせます。テーブルをX方向とY方向に手動で動かすことにより、スクライビングラインを試料上の基準マークや構造に合わせて調整することができます。高画質ズーム顕微鏡により、試料の概観検査と詳細検査を素早く切り替えることができます。X/Yテーブルの微調整により、ウェハーを非常に正確に位置決めすることができます。スクライビングダイヤモンドのタッチダウンポイントを調整できます。接眼レンズのヘアクロスまたはモニター上のヘアクロスが、スクライビングダイヤモンドのタッチダウンポイントを決定します。スクライビングダイヤモンドはフットスイッチ（昇降）で操作できるため、スクライビングの動きを両手で調節することができます。
スクライビングラインが決まったら、フットスイッチでダイヤモンドを下降させます。ウェハーをスクライビングするには、チャック全体を手動で移動します。
