【アプリケーションノート】CO2レーザー
マイクロエレクトロニクスにおいて、微細化に伴い非熱的微細加工が要求されるようになりました。
レーザー微細加工においては、短パルス・短波長のレーザーを用いることで、
高品質かつ高精度な加工が可能になりました。
Nd:YAG/Nd:YVO4レーザーの4倍波(266 nm)、5倍波(213 nm)が開発され、
それに伴いDUV(深紫外)用光学部品が必要となっています。
ところが,レーザー光の波長が紫外領域になるとガラス材料に対する吸収率が高くなるため,
レンズなど光学素子材料への負担を軽減する必要が出てきます。
フェムト秒レーザを加工や計測に使用する際に、通常のミラーを使用すると、
わずかではありますが、反射時に波長の分散が発生し、パルス幅が広がります。
通常のレーザでは問題になりませんが、フェムト秒レーザではパルス幅に大きく影響します。
フェムト秒~ピコ秒の超短パルスレーザに使用するための
さまざまな分散を極力抑えたミラーやビームスプリッタをご用意しております。
低GDD(群遅延分散)とTOD(3次分散)が問題になる場合もあります。
FITでは、低GDD(群遅延分散)とTOD(3次分散)を考慮して設計された光学部品も取り揃えております。
・波長:355nm ・出力:80mJ/1pulse ・周波数:10Hz
1:ダイクロイックミラー
2.4.5:バンドパスフィルター
3:エッジフィルター
PMT:光電子倍増管
1:打音用レーザー光源波長:1064nm
2:主発振器出力増幅器
波長:1064nm
出力:1J/1pulse
周波数:25Hz
3:アイソレーター
4:1/2波長版
5:偏光子
6:ビームダンプ
7:ビームエキスパンダ
1から放出される連続的なレーザー光は2によって光量を調整された後、参照光と検出光に分かれる。
壁面で反射した検出光は3にいよって参照光と干渉し、壁面の情報のみが抽出される。
1:検出用レーザー光源
波長:532nm
2:アッテネーター
3:光屈折結晶
4:1/4波長版
5:光電子倍増管
豊富なサプライヤーから選ぶことができます。
CVI Laser Optics | CASTECH Inc. | Unioriental Optics Co., Ltd |
Lambda Research Optics | Rainbow Research Optics, Inc. | EKSMA OPTICS |
TELEDYNE Acton Optics | Spectral Products | Standa Ltd. |
CrystaLaser | Wasatch Photonics | RX OPTICS |
CivilLaser | FOCtek Photonics, Inc. | Melles Griot |
ULO Optics Ltd.. | Special Optics | Bluebean Optical Tech Ltd. |
ISP Optics Corporation | PLX Inc. | Shanghai Empower Technologies |
Lattice Electro Optics | National Photocolor | Alluxa |
Layertec GmbH | Diamond Materials | Korea Electro Optics Co., Ltd. |
Micro Laser Systems | Raytheon | United Lens Company, Inc. |
ONYX Optics, Inc. | Superlum | ROITHNER LASERTECHNIK |
Optisource, LLC | Northrop Grumman Cutting Edge Optronics | V.KYBURZ AG |
SPECTROGON US Inc. | Northumbria Optical Coatings Limited |