アプリケーションノート

【アプリケーションノート】CO2レーザー

 


弊社では、左に図示するようなCO2レーザーの光学部品のセット販売することが出来ます。
小型のCO2レーザー(最大500Wの出力と最大約12mmのビーム直径)を対象としています。
レーザー出力からワークピースまで、ビームデリバリーは、ビームを効率的に処理できるコンポーネントで構成されています。部品はねじインサートを使用して簡単に組み立てられ、システムはパイプサポートでベンチトップにしっかりと固定できます。図のようなセットには、ミラーブロック、ノズル、チューブ、シャッターユニットなどの標準的なアイテムのほか、反射アイソレーターや手動減衰器などのより高度な製品も選ばれます。

【アプリケーションノート】深紫外レーザーの光学部品

マイクロエレクトロニクスにおいて、微細化に伴い非熱的微細加工が要求されるようになりました。
レーザー微細加工においては、短パルス・短波長のレーザーを用いることで、
高品質かつ高精度な加工が可能になりました。
Nd:YAG/Nd:YVO4レーザーの4倍波(266 nm)、5倍波(213 nm)が開発され、
それに伴いDUV(深紫外)用光学部品が必要となっています。
ところが,レーザー光の波長が紫外領域になるとガラス材料に対する吸収率が高くなるため,
レンズなど光学素子材料への負担を軽減する必要が出てきます。

そこで、これらのDUV(深紫外)に適した光学部品を選定する必要があります。
左図は、DUV(深紫外)レーザー集光光学系の一例です。
これらの集光系に必要なDUV(深紫外)用光学製品として、以下の様なものがあります。
266nm,213nm高出力用ミラー・ビームスプリッター/ビームエキスパンダー/集光レンズ/波長板/偏光子/
エキシマレーザー用光学部品も多数取り揃えております。

【アプリケーションノート】パワーメーター

 

ハイパワーに対応したパワーメーターがなければ、レーザーの不具合を特定出来ません。短パルスレーザーの測定には、高速応答の出来る測定器が必要になります。パルス幅や高速応答の要求等の条件毎に測定器を選定することが必要です。
商品の特徴には以下のようなものがあります。
詳細についてはこちらをクリック
◯応答時間が高速のもの
◯モニタリングのみに特化したもの(量産組み込み用)
◯メーターレス(USBでPC接続)
◯広帯域のもの


【アプリケーションノート】超短パルスレーザー用光学素子の留意点

フェムト秒レーザを加工や計測に使用する際に、通常のミラーを使用すると、
わずかではありますが、反射時に波長の分散が発生し、パルス幅が広がります。
通常のレーザでは問題になりませんが、フェムト秒レーザではパルス幅に大きく影響します。

フェムト秒~ピコ秒の超短パルスレーザに使用するための
さまざまな分散を極力抑えたミラーやビームスプリッタをご用意しております。
低GDD(群遅延分散)とTOD(3次分散)が問題になる場合もあります。
FITでは、低GDD(群遅延分散)とTOD(3次分散)を考慮して設計された光学部品も取り揃えております。

LiDAR測定系

レーザー光源

・波長:355nm ・出力:80mJ/1pulse ・周波数:10Hz

光学部品

1:ダイクロイックミラー
2.4.5:バンドパスフィルター
3:エッジフィルター
PMT:光電子倍増管

レーザー打音の測定系


光学部品

1:ガルバノミラー
2:焦点ミラー
3:ソフトウェア

レーザー打音の測定系:打音用光学系



1:打音用レーザー光源波長:1064nm
2:主発振器出力増幅器
  波長:1064nm
  出力:1J/1pulse
  周波数:25Hz
3:アイソレーター
4:1/2波長版
5:偏光子
6:ビームダンプ
7:ビームエキスパンダ

レーザー打音測定系:検出用光学系

検出用光学系

1から放出される連続的なレーザー光は2によって光量を調整された後、参照光と検出光に分かれる。
壁面で反射した検出光は3にいよって参照光と干渉し、壁面の情報のみが抽出される。

1:検出用レーザー光源
  波長:532nm
2:アッテネーター
3:光屈折結晶
4:1/4波長版
5:光電子倍増管

サプライヤーの一例

豊富なサプライヤーから選ぶことができます。

CVI Laser Optics CASTECH Inc. Unioriental Optics Co., Ltd
Lambda Research Optics Rainbow Research Optics, Inc. EKSMA OPTICS
TELEDYNE Acton Optics Spectral Products Standa Ltd.
CrystaLaser Wasatch Photonics RX OPTICS
CivilLaser FOCtek Photonics, Inc. Melles Griot
ULO Optics Ltd.. Special Optics Bluebean Optical Tech Ltd.
ISP Optics Corporation PLX Inc. Shanghai Empower Technologies
Lattice Electro Optics National Photocolor Alluxa
Layertec GmbH Diamond Materials Korea Electro Optics Co., Ltd.
Micro Laser Systems Raytheon United Lens Company, Inc.
ONYX Optics, Inc. Superlum ROITHNER LASERTECHNIK 
Optisource, LLC Northrop Grumman Cutting Edge Optronics V.KYBURZ AG
SPECTROGON US Inc. Northumbria Optical Coatings Limited  
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