光学部品 アプリケーションノート

CO2レーザー_光学部品セット

弊社では、左に図示するようなCO2レーザーの光学部品のセット販売することが出来ます。
小型のCO2レーザー(最大500Wの出力と最大約12mmのビーム直径)を対象としています。
レーザー出力からワークピースまで、ビームデリバリーは、ビームを効率的に処理できるコンポーネントで構成されています。部品はねじインサートを使用して簡単に組み立てられ、システムはパイプサポートでベンチトップにしっかりと固定できます。図のようなセットには、ミラーブロック、ノズル、チューブ、シャッターユニットなどの標準的なアイテムのほか、反射アイソレーターや手動減衰器などのより高度な製品も選ばれます。

深紫外レーザーの光学部品

マイクロエレクトロニクスにおいて、微細化に伴い非熱的微細加工が要求されるようになりました。
レーザー微細加工においては、短パルス・短波長のレーザーを用いることで、
高品質かつ高精度な加工が可能になりました。
Nd:YAG/Nd:YVO4レーザーの4倍波(266 nm)、5倍波(213 nm)が開発され、
それに伴いDUV(深紫外)用光学部品が必要となっています。
ところが,レーザー光の波長が紫外領域になるとガラス材料に対する吸収率が高くなるため,
レンズなど光学素子材料への負担を軽減する必要が出てきます。

そこで、これらのDUV(深紫外)に適した光学部品を選定する必要があります。
左図は、DUV(深紫外)レーザー集光光学系の一例です。
これらの集光系に必要なDUV(深紫外)用光学製品として、以下の様なものがあります。
266nm,213nm高出力用ミラー・ビームスプリッター/ビームエキスパンダー/集光レンズ/波長板/偏光子/
エキシマレーザー用光学部品も多数取り揃えております。

パワーメーター

ハイパワーに対応したパワーメーターがなければ、レーザーの不具合を特定出来ません。短パルスレーザーの測定には、高速応答の出来る測定器が必要になります。パルス幅や高速応答の要求等の条件毎に測定器を選定することが必要です。
商品の特徴には以下のようなものがあります。
詳細についてはこちらをクリック
◯応答時間が高速のもの
◯モニタリングのみに特化したもの(量産組み込み用)
◯メーターレス(USBでPC接続)
◯広帯域のもの


超短パルスレーザー用光学素子の留意点

フェムト秒レーザを加工や計測に使用する際に、通常のミラーを使用すると、
わずかではありますが、反射時に波長の分散が発生し、パルス幅が広がります。
通常のレーザでは問題になりませんが、フェムト秒レーザではパルス幅に大きく影響します。

フェムト秒~ピコ秒の超短パルスレーザに使用するための
さまざまな分散を極力抑えたミラーやビームスプリッタをご用意しております。
低GDD(群遅延分散)とTOD(3次分散)が問題になる場合もあります。
FITでは、低GDD(群遅延分散)とTOD(3次分散)を考慮して設計された光学部品も取り揃えております。

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